ВУЗ:
Составители:
ВВЕДЕНИЕ
C середины 80-х годов прошлого века одним из наиболее дина-
мично развивающихся научно-технических направлений является ми-
кросистемная техника (МСТ), возникшая на стыке электроники, меха-
ники и оптики, включающаяся в себя сверхминиатюрные механизмы,
приборы, машины с ранее недостижимыми массогабаритами, энерге-
тическими показателями и функциональными параметрами, создавае-
мые интегрально-групповыми экономически эффективными процесса-
ми микро- и нанотехнологий [1-11].
Микроэлектромеханическими системами (МЭМС) называют
устройства с интегрированными в объеме или на поверхности твердо-
го тела электронными и микромеханическими структурами. Статиче-
ская или динамическая совокупность этих структур обеспечивает реа-
лизацию процессов генерации, преобразования, передачи энергии и
механического движения в интеграции с процессами восприятия, обра-
ботки, передачи и хранения информации (рис. 1). Интеграция МЭМС с
оптическими компонентами позволило выделить отдельный класс
компонентов микросистем, названный микрооптикоэлектромеханиче-
скими системами (МОЭМС) [1-7].
Рис. 1. К определению МЭМС и МОЭМС
