Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 4 стр.

UptoLike

1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ТЕРМИНЫ
Микросистемы в функционально завершенном виде представляют
собой информационно-управляющие системы различного назначения,
структурно объединяющие подсистемы сбора и обработки информа-
ции, вырабатывающие воздействия на исполнительные устройства и
далее – на объект управления [3-6].
Функциональными микроустройствами информационно-управ-
ляющей части микросистем являются: преобразователи физических
величин, усилители, аналоговые ключи и коммутаторы, делители ча-
стоты, преобразователи цифроаналоговые и аналого-цифровые, микро-
контроллеры, микропроцессоры и цифровые процессоры сигналов,
цифровые и логические схемы, запоминающие устройства [3-6].
Функциональными исполнительными микроустройствами микро-
систем являются микродвигатели, микроэлементы гидравлики, микро-
сопла, микропоршни, микроредукторы, микрозеркала, микроприводы,
конструктивно выполненные в объеме и на поверхности полупровод-
никового кристалла с применением базовых и модифицированных
процессов микроэлектроники, оптоэлектроники, пьезоэлектроники и
др. [3-6].
Микросистемная техника совокупность научно-технических и
технологических способов, обеспечивающих создание в объеме и
(или) на поверхности твердого тела упорядоченной композиции ми-
кронных и субмикронных областей материалов с заданными составом,
структурой и геометрией, и направленная на реализацию функций вос-
приятия, преобразования, хранения, обработки, трансляции информа-
ции, энергии, движения и выработки управляющих воздействий в тре-
буемых режимах и условиях эксплуатации [3-6].
Изделие микросистемной техники (микросистема) совокупность
микроэлектронных управляющих и функциональных исполнительных
элементов и компонентов в едином конструктивном исполнении,
принцип действия которых основан на электрофизических, электроме-
ханических, электрохимических, электронно-оптических, фотохимиче-
ских процессах и явлениях с учетом эффектов масштабирования при
переходе от макро- к микро- и наноразмерным уровням, и предназна-
ченных для реализации функций приема, преобразования, хранения,
передачи информации, энергии и движения для выполнения функции
4