Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 4 стр.

1. ОСНОВНЫЕ ПОНЯТИЯ И ТЕРМИНЫ

Микросистемы в функционально завершенном виде представляют

собой информационно-управляющие системы различного назначения,

структурно объединяющие подсистемы сбора и обработки информа-

ции, вырабатывающие воздействия на исполнительные устройства и

далее – на объект управления [3-6].

Функциональными микроустройствами информационно-управ-

ляющей части микросистем являются: преобразователи физических

величин, усилители, аналоговые ключи и коммутаторы, делители ча-

конструктивно выполненные в объеме и на поверхности полупровод-

никового кристалла с применением базовых и модифицированных

процессов микроэлектроники, оптоэлектроники, пьезоэлектроники и

др. [3-6].

Микросистемная техника – совокупность научно-технических и

технологических способов, обеспечивающих создание в объеме и

(или) на поверхности твердого тела упорядоченной композиции ми-

кронных и субмикронных областей материалов с заданными составом,

структурой и геометрией, и направленная на реализацию функций вос-

приятия, преобразования, хранения, обработки, трансляции информа-

ханических, электрохимических, электронно-оптических, фотохимиче-

ских процессах и явлениях с учетом эффектов масштабирования при

переходе от макро- к микро- и наноразмерным уровням, и предназна-

ченных для реализации функций приема, преобразования, хранения,

передачи информации, энергии и движения для выполнения функции