ВУЗ:
Составители:
ние записать в виде [16]:
Δτ =
2⋅π⋅R
k
2
⋅
c
2
.
Как видно из приведенного выражения, разность времени прохо-
ждения противоположно бегущими лучами одного и того же расстоя-
ния будет прямо пропорционально угловой скорости объекта.
Микромеханические сенсоры угловых скоростей
Микромеханические сенсоры угловых скоростей, или микромеха-
нические гироскопы (ММГ), являются компонентами микроэлектро-
механических систем, отличающихся от других сложностью их функ-
ционирования [9].
Все сенсоры угловых скоростей по своему принципу работы яв-
ляются вибрационными. В микромеханических гироскопах энергия
первичных колебаний инерционной массы (ИМ), обусловленная дей-
ствием сил, создаваемые актюаторными элементами, преобразовыва-
ется в энергию вторичных колебаний, обусловленную действием пере-
носной угловой скорости [9].
Это преобразование осуществляется вследствие воздействия на
чувствительный элемент сенсора инерции Кориолиса. Амплитуда вто-
ричных колебаний ИМ очень мала, поэтому требуется усиление ее в
форме совмещения частот первичных и вторичных колебаний с резо-
нансной частотой колебаний упругого подвеса инерционных масс ми-
кромеханического гироскопа [9].
Первичные колебания также называются режимом движения (РД)
или движением по оси возбуждения, а вторичные – режимом чувстви-
тельности (РЧ), или движением по оси выходного сигнала.
Существующие конструкции микромеханических сенсоров угло-
вых скоростей могут быть классифицированы по следующим призна-
кам [9]:
1. Число осей чувствительности.
2. Число инерционных масс.
3. Тип упругого подвеса.
43
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »
