Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 44 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

4. Вид перемещений инерционных масс.

5. Тип актюаторного элемента.

6. Тип преобразователя перемещений инерционной массы.

7. Технология изготовления.

По принципам работы микромеханические сенсоры угловых ско-

ростей с контактным подвесом могут быть разделены на следующие

типы [9]:

1. Вибрационные микромеханические гироскопы камертонного

типа.

2. Вибрационные микромеханические гироскопы LL-типа.

3. Вибрационные микромеханические гироскопы RR-типа.

4. Вибрационные микромеханические гироскопы LR(RL)-типа.

5. Микромеханические гироскопы волнового типа.

Вибрационный гироскоп был впервые представлен в начале 50-х

годов прошлого века для замены вращающихся гироскопов в космиче-

ской технике. Вибрационные микромеханические гироскопы отлича-

ются от других сложностью их функционирования. Информационный

сигнал не формируется на выходе устройства без механического воз-

буждения инерционных масс. Для получения информационного сигна-

ла необходимо привести инерционные массы в колебательное линей-

ное или угловое движение. Сигнал очень мал, поэтому требуется меха-

ническое усиление его в форме совмещения частот возбуждения коле-

баний и резонансной частоты колебаний инерционных масс гироскопа.

Принцип работы микромеханических гироскопов камертонного

типа заключается в следующем (рис. 24) [16].

Рис. 24. Принцип работы камертонных гироскопов