Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 46 стр.

UptoLike

костью подложки, а другая опускаться. Таким образом, инерционные
массы начинают совершать противофазные колебания перпендикуляр-
но плоскости подложки. Емкостные преобразователи перемещений
формируют выходной сигнал гироскопа, пропорциональный величине
угловой скорости [16].
Рис. 25. Микромеханический гироскоп LL-типа
На рис. 26 представлена структура одноосного микромеханиче-
ского гироскопа [16].
46