Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 48 стр.

UptoLike

Рис. 27. Микромеханический гироскоп RRипа:
а – структура; б – топология
Рис. 28. Двухосевой микромеханический гироскоп RR-типа:
1 – инерционная масса; 2 – неподвижные электроды
электростатических приводов; 3 – опора
48