Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 50 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

кольцо приводится в режим вибрации в своей плоскости. Частота виб-

рации выбирается таким образом, чтобы в резонаторе возбуждались

колебания, имеющие формы стоячей волны, пучности которой нахо-

дятся в некоторых точках. При возникновении некоторой переносной

угловой скорости, вектор которой направлен перпендикулярно плоско-

сти упругого кольца, момент сил инерции Кориолиса вызывает прецес-

сию стоячей волны относительно резонатора. Определяя положение

стоячей волны относительно подложки можно получить информацию

о величине угловой скорости [9].

Рис. 30. Интегральная сенсорная микросистема для регистрации

угловых скоростей по трем осям чувствительности

Рис. 31. Волновой твердотельный сенсор угловых скоростей

с одной осью чувствительности

1 – упругое кольцо (резонатор); 2 – упругие элементы подвеса