ВУЗ:
Составители:
Волновые микромеханические гироскопы характеризуются высо-
кой степенью интеграции с элементами интегральных схем.
Контрольные вопросы
1. Волоконно-оптические гироскопы.
2. Вибрационные микромеханические гироскопы камертонного
типа.
3. Вибрационные микромеханические гироскопы LL-типа.
4. Вибрационные микромеханические гироскопы RR-типа.
5. Микромеханические гироскопы волнового типа.
7. Сенсорные компоненты МСТ. Часть 4.
Сенсоры линейных ускорений
Ускорение – динамическая характеристика объекта. Согласно вто-
рому закону Ньютона оно возникает только после приложения к
объекту какой-либо силы. Перемещение объекта, его скорость и уско-
рение являются взаимосвязанными физическими величинами: ско-
рость – это первая производная от перемещения, ускорение – его вто-
рая производная [9].
Микромеханические сенсоры линейных ускорений, или микроме-
ханические акселерометры (ММА), являются одними из первых
компонентов микроэлектромеханических систем [9].
По принципу работы микромеханические сенсоры линейных уско-
рений могут быть разделены на следующие типы [9]:
1. Микромеханические акселерометры L-типа или осевые акселе-
рометры.
2. Микромеханические акселерометры R-типа или маятниковые
акселерометры.
По принципу измерения линейного ускорения микромеханические
акселерометры делят на ММА прямого и компенсационного преоб-
разования [9].
ЧЭ первых непосредственно передают информацию о действую-
щем на него ускорении в виде перемещений ИМ или деформаций
упругих элементов подвеса на вторичный преобразователь (перемеще-
ний или деформаций). В этом случае все погрешности измерительной
51
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 49
- 50
- 51
- 52
- 53
- …
- следующая ›
- последняя »
