Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 53 стр.

UptoLike

ра поперечная чувствительность равна нулю [9].
Микромеханические акселерометры L-типа
Микромеханические акселерометры L-типа характеризуются ли-
нейным перемещением инерционной массы под действием внешнего
линейного ускорения [9].
На рис. 32 представлены принципиальные схемы построения осе-
вых микромеханических акселерометров прямого преобразования с
одной осью чувствительности [9].
а б
в
Рис. 32. Принципиальные схемы построения осевых
сенсоров линейных ускорений
1 – инерционная масса; 2 – упругие элементы подвеса; 3 – опора
а – с крестообразным подвесом; б – с z-образным подвесом;
в – с параллельным подвесом
53