ВУЗ:
Составители:
Принцип работы осевых сенсоров линейных ускорений состоит в
следующем. Под действием линейного ускорения, направленного
вдоль оси чувствительности Z, инерционная масса за счет изгиба упру-
гих элементов подвеса совершает линейное перемещение в направле-
нии, перпендикулярном плоскости подложки. Величина перемещения
инерционной массы будет пропорциональна величине внешнего уско-
рения. Выходной сигнал формируется емкостным преобразователем
перемещений, образованный инерционной массой и неподвижным
электродом, расположенным под нею [9].
Особенностью схемы построения ММА, представленной на рис.
32,в, является возможность измерения линейного ускорения по двум
осям чувствительности Х и Z [9].
Уравнение движения ИМ при условии, что центр масс и геометри-
ческий центр подвеса совпадают и направление действующего ускоре-
ния совпадает с одной из осей х, у, z, которая является осью чувстви-
тельности, например с осью z, имеет вид [9]:
m
¨
z β
˙
z kz=ma
z
,
где m – масса ИМ; β – коэффициент демпфирования; k – коэффициент
жесткости;
¨
z ,
˙
z , z
– ускорение, скорость и перемещение ИМ, соответ-
ственно;
a
z
– линейное ускорение.
В установившемся режиме [9]:
z =ma
z
/ k
.
В реальных МА перемещение ИМ измеряется либо емкостным
преобразователем перемещений, либо с помощью пьезорезистивных
преобразователей деформаций упругих элементов, либо посредством
оптических датчиков.
Микромеханические акселерометры R-типа
Микромеханические акселерометры R-типа характеризуются уг-
ловым (вращательным) перемещением инерционной массы под дей-
ствием внешнего ускорения вдоль оси чувствительности [9].
На рис. 33 представлены принципиальные схемы построения ма-
ятниковых микромеханических акселерометров прямого и компенса-
ционного преобразования с одной осью чувствительности [9].
54
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 52
- 53
- 54
- 55
- 56
- …
- следующая ›
- последняя »
