Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 55 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

а б

Рис. 33. Принципиальные схемы построения маятниковых

сенсоров линейных ускорений

1 – инерционная масса; 2 – упругие элементы подвеса; 3 – опора

а – одинарный маятник; б – двойной маятник;

в – маятник с торсионами

Принцип работы осевых сенсоров линейных ускорений прямого

преобразования состоит в следующем. Под действием линейного уско-

рения, направленного вдоль оси чувствительности Z, инерционная

масса за счет изгиба или кручения упругих элементов подвеса совер-

шает угловое перемещение вокруг оси Y. Величина угла вращения

инерционной массы будет пропорциональна величине внешнего уско-

рения. Выходной сигнал формируется емкостным преобразователем

перемещений, образованный инерционной массой и неподвижным

электродом, расположенным под нею [9].

Микромеханические акселерометры могут быть изготовлены в

рамках любой интегральной технологии изготовления МЭМС на од-

ной подложке совместно с элементами ИС [9].

Торсионы по своей длине имеют одинаковое поперечное сечение,

но его форма может быть различной (квадрат, прямоугольник, шести-