Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 49 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Инерционная масса приводится в колебательное движение вокруг

оси Х с помощью электростатических приводов, образованных наруж-

ной рамкой и электродами электростатических приводов. При возник-

новении угловой скорости вокруг оси Z внутренняя рамка под дей-

ствием гироскопического момента начинает совершать угловые коле-

бания вокруг оси Y за счет кручения упругих торсионов. Амплитуда

колебаний внутренней рамки будет пропорциональна величине угло-

вой скорости, а фаза – направлению. Выходной сигнал формируется

емкостными преобразователями перемещений, образованных внутрен-

ней рамкой и электродом емкостных преобразователей [16].

Рис. 29. Микромеханический гироскоп RR-типа

с одной осью чувствительности

Для регистрации угловых скоростей по трем осям чувствительно-

сти используют комбинации одно- и двуосных микромеханических ги-

роскопов (рис. 30) [16].

Микромеханические гироскопы волнового типа реализуют прин-

цип стоячей волны при вращении кольцевого резонатора [9].

Конструкция волнового твердотельного гироскопа (ВТГ) содер-

жит деформируемое упругое кольцо, закрепленное на подложке с по-

мощью внутреннего или внешнего подвеса. На рис. 31 представлен

микромеханический гироскоп волнового типа с внешним упругим под-

весом [9].

Принцип работы ВТГ состоит в следующем. С помощью электро-

магнитных или электростатических актюаторных элементов упругое