Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 47 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 26. Структура одноосного микромеханического гироскопа:

1 – инерционная масса; 2 – неподвижные электроды

электростатических приводов; 3 – упругий подвес

На рис. 27 представлен интегральный микромеханический гиро-

скоп с двумя осями чувствительности [16].

Данный гироскоп относится к типу камертонных гироскопов и

позволяет измерять величины угловых скоростей при вращении его во-

круг двух взаимно-перпендикулярных осей Х и Y, расположенных в

плоскости подложки.

Принцип работы данного микромеханического устройства анало-

гичен предыдущему. Отличие только в том, что инерционная масса

одна, и она совершает возвратно-поступательное движение вокруг сво-

ей опоры в плоскости подложки. При возникновении угловой скорости

вокруг оси Х инерционная масса начинает совершать колебания во-

круг оси Y. При возникновении угловой скорости вокруг оси Y – инер-

ционная масса колеблется вокруг оси Х.

Выходной сигнал гироскопа формируют емкостные преобразова-

тели перемещений, образованные инерционной массой и электродами

емкостных преобразователей, расположенные под ней.

На рис. 28 представлен двуосный микромеханический гироскоп,

изготовленный по технологии поверхностной микрообработки [16].

На рис. 29 приведен микромеханический гироскоп с одной осью

чувствительности карданнового типа [16].