Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 97 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

катушки любой формы определяется следующим выражением [14]:

LT=L0+ΣM, (1)

где LТ – полная индуктивность, L0 – сумма собственных индуктивно-

стей сегментов, ΣМ – сумма взаимных индуктивностей сегментов.

Рис. 63. Спиральный индуктор и влияние тока на соседние сегменты

На рис. 64 показаны варианты конфигураций планарных индук-

тивных элементов, применяемых в ВЧ-системах. В общем виде их

можно разделить на полосковые и спиральные индукторы [14].

Индукторы с прямыми секциями провода или полосками исполь-

зуются для получения низких значений индуктивности, обычно мень-

ше 10 нГн, в то время как спиральные (круговые и прямоугольные) ин-

дукторы обладают более высокой добротностью и обеспечивают

большие значения индуктивности. Наличие пластин заземления также

влияет на величину индуктивности. Чем ближе пластина заземления

расположена к проводящей линии, тем меньше значение индуктивно-

сти. Планарные индукторы изготавливаются по однослойной схеме

металлизации, в которой проводящий слой вытравливается на диэлек-

трической подложке. Конечное значение удельной проводимости ме-

таллического слоя и потери в диэлектрической подложке могут приве-

сти к потерям в индукторе. Металлический слой, толщина которого

должна быть больше глубины проникновения в 3-4 раза, может умень-

шить потери проводимости [14].

Поскольку все сегменты индуктора взаимосвязаны, на маленькой

площади возможно получить высокие значения индуктивности. Неиз-

бежная ограниченность пространства в монолитных ИС приводит к

тому, что величину добротности Q можно улучшать только в опреде-