ВУЗ:
Составители:
20
ловии задания топологическим слоям, информацию о которых предполагается
сохранить в форматах CIF или GDSII, соответствующих имен (для CIF) или
номеров (для GDSII).
2.9. Просмотр поперечного сечения структур СБИС и микросистем
Просмотр поперечного сечения создаваемых структур СБИС и микро-
систем осуществляется с помощью команды Tools/Cross-Section или щелчком
левой кнопки «мыши» на кнопке
. При этом на экране появится диалоговое
окно, приведенное на рис. 11 [2].
Рис. 11. Диалоговое окно команды Cross-Section
В разделе «Process definition file» окна команды Cross-Section необходи-
мо ввести путь к файлу описания процесса изготовления с расширением *.xst.
Для включения паузы на первом шаге создания поперечного сечения не-
обходимо левой кнопкой «мыши» щелкнуть на квадратике, расположенном
слева в поле «Pause after first step» в разделе «Options». После выполнения этого
действия в квадратике должна появится галочка. Щелчок левой кнопкой «мы-
ши» на квадратике с галочкой приводит к отключению выбранного правила
проектирования.
В поле «Vertical coordinate (Y)» устанавливается вертикальная коорди-
ната, вдоль которой необходимо создать поперечное сечение структуры. Для
установки вертикальной координаты с помощью манипулятора «мышь» необ-
ходимо щелкнуть левой кнопкой «мыши» на клавише «Pick».
В поле «Exaggeration factor» устанавливается коэффициент увеличения
поперечного сечения вдоль оси Z. Для включения автоматического увеличения,
создаваемого поперечного сечения, необходимо левой кнопкой «мыши» щелк-
нуть на квадратике, расположенном слева в поле «Auto-fit in window». После
выполнения этого действия в квадратике должна появится галочка. Щелчок ле-
вой кнопкой «мыши» на квадратике с галочкой приводит к отключению вы-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 18
- 19
- 20
- 21
- 22
- …
- следующая ›
- последняя »
