ВУЗ:
Составители:
21
бранного правила проектирования. При этом в поле «Exaggeration factor» необ-
ходимо установить необходимый коэффициент увеличения.
На рис. 12 приведено поперечное сечение микромеханического резона-
тора, созданное без использования команды «Auto-fit in window». На рис. 13
приведено поперечное сечение микромеханического резонатора, созданное с
использованием команды «Auto-fit in window».
Рис. 12. Создание поперечного сечения
без использования команды «Auto-fit in window»
Рис. 13. Создание поперечного сечения
c использованием команды «Auto-fit in window»
Для перехода между этапами процесса изготовления необходимо левой
кнопкой «мыши» щелкнуть на одной из четырех клавиш:
-
– переход на первый этап;
-
– переход на предыдущий этап;
-
– переход на следующий этап;
-
– переход на последний этап.
На рис. 14 приведен файл описания процесса изготовления MUMPs [4].
Для описания процесса изготовления необходимо заполнить следующие
графы:
- step – тип процесса:
- gd – напыление/осаждение;
- е – травление;
- id – имплантация/диффузия;
- layer – название слоя. Вводятся только те слои, которые определены в
файле топологии *.tdb;
- depth – толщина слоя;
- label – заполнять необязательно. Вводятся любые символы, заключен-
ные в кавычки;
- angle – заполнять необязательно. Вводится угол наклона вертикальной
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 19
- 20
- 21
- 22
- 23
- …
- следующая ›
- последняя »
