Проектирование топологии СБИС и микросистем в САПР Tanner Pro. Коноплев Б.Г - 34 стр.

UptoLike

34
«0_Contents.drc»), после чего активизировать кнопку «Browse». При этом поя-
вится окно «Save as», в котором необходимо выбрать каталог для сохранения
файла, после чего активизировать кнопку «Сохранить».
При активации кнопки «Setup» запускается диалоговое окно Setup De-
sign Rules (см. рис. 19).
Для запуска процедуры проверки правил проектирования необходимо
активизировать кнопку «ОК». Для отмены процедуры проверки необходимо
щелкнуть левой кнопкой «мыши» на клавише «Отмена».
На рис. 22 приведен пример проверки соответствия микромеханической
консольной балки правилам проектирования технологии MUMPS ver. 4.0.
Рис. 22. Пример проверки правил проектирования
Как видно из рис. 22, при создании топологии консольной балки было
нарушено правило проектирования типа Surround – расстояние между граница-
ми слоя Anchor1 и описывающего его слоя Poly1 (3 мкм) меньше численного
значения текущего правила (4 мкм).
В случае отсутствия нарушений правил проектирования выводится со-
общение:
No DRC errors found.