Составители:
Рубрика:
124
составляет
при
λ
= 550
нм
n
= 1,97
при
осаждении
на
холодные
подложки
и
n
=
2,05
при
температуре
200°
С
.
Пленки
германия
в
сочетании
с
пленками
моноокиси
кремния
образуют
прочные
покрытия
,
обладающие
хорошими
эксплуатационными
характеристиками
.
В
процессе
изготовления
пленок
SiO
особое
внимание
уделяется
величине
остаточного
давления
в
рабочей
камере
.
При
недостаточном
вакууме
при
испарении
исходного
SiO
происходит
более
глубокое
окисление
кремния
,
и
конденсируется
пленка
состава
Si
2
O
3
с
отличным
от
расчетного
показателем
преломления
и
сильным
поглощением
в
полосе
воды
вблизи
2,9
мкм
.
Без
принятия
специальных
мер
пленки
SiO
получаются
пористыми
и
также
обнаруживают
поглощение
на
этой
длине
волны
.
Пленки
SiO
2
и
ZrO
2
,
как
и
пленки
некоторых
других
окислов
,
обладают
высокой
механической
прочностью
и
химической
стабильностью
.
Традиционный
способ
их
получения
–
испарение
электронным
лучом
.
Прозрачные
в
видимом
диапазоне
спектра
,
слои
диоксида
циркония
и
кварца
редко
применяются
для
работы
в
ИК
-
диапазоне
ввиду
сравнительно
небольшого
отношения
показателей
преломления
и
наличия
сильных
механических
напряжений
в
толстых
пленках
.
Тем
не
менее
,
эти
материалы
находят
широкое
применение
для
создания
многослойных
систем
,
работающих
одновременно
как
в
видимой
,
так
и
в
ближней
ИК
-
области
спектра
.
На
рис
.
2.30
представлены
дисперсионные
зависимости
n
(
λ
)
и
k
(
λ
)
для
SiO
2
и
ZrO
2
.
Рис
. 2.29.
Дисперсия
оптических
констант
пленок
ZrO
2
и
SiO
2
(
Т
подл
=200°
С
)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 122
- 123
- 124
- 125
- 126
- …
- следующая ›
- последняя »
