Составители:
Рубрика:
126
материалов
самих
пленок
и
материала
подложки
.
Также
ограничения
на
совместное
использование
пленкообразующих
материалов
может
накладывать
как
химическая
активность
одного
из
веществ
,
так
и
их
взаимная
диффузия
в
процессе
формирования
многослойной
структуры
,
в
результате
чего
свойства
границы
раздела
двух
сред
изменяются
,
и
условия
распространения
света
через
подобную
систему
становятся
отличными
от
принимаемых
в
расчете
.
Как
правило
,
сложности
с
адгезией
при
совместном
использовании
возникают
с
теми
материалами
,
при
испарении
которых
получались
твердые
прочные
пленки
.
Так
,
например
,
нам
не
удалось
получить
покрытия
с
пленками
SiO
и
SiO
2
при
использовании
таких
сочетаний
,
как
ZnSe – SiO,
ZnSe – SiO
2
и
ZnS – SiO
2
на
подложках
из
кварцевого
стекла
.
Сильные
механические
напряжения
в
твердых
слоях
SiO
и
SiO
2
превосходили
силы
адгезии
сравнительно
мягких
пленок
ZnSe
и
ZnS.
Для
пленок
кварца
удалось
получить
удовлетворительные
результаты
только
при
их
совместном
использовании
с
пленками
диоксида
циркония
при
напылении
на
подложки
,
нагретые
до
300°
С
.
При
этом
реализовывались
структуры
для
работы
в
диапазоне
до
5
мкм
,
и
геометрическая
толщина
одиночной
пленки
SiO
2
составляла
не
менее
600
нм
.
Возможность
варьировать
не
только
толщину
слоя
,
но
и
его
показатель
преломления
,
как
было
показано
в
первой
главе
,
является
дополнительной
степенью
свободы
при
проектировании
оптических
покрытий
.
Поэтому
существенный
интерес
представляет
разработка
и
исследование
новых
пленкообразующих
материалов
с
набором
различных
значений
показателя
преломления
в
заданной
области
и
имеющих
хорошие
оптические
характеристики
.
Сравнение
с
результатами
из
справочников
,
полученными
для
твердых
структур
показывает
,
что
,
почти
во
всех
случаях
,
имеет
место
обычное
для
пленок
исследованных
материалов
снижение
показателя
преломления
и
значительное
увеличение
показателя
поглощения
.
Причиной
тому
может
служить
наличие
в
пленках
примесей
,
обусловленных
взаимодействием
испаряемого
вещества
c
материалом
испарителя
и
остаточными
газами
в
камере
,
отклонение
от
стехиометрии
при
осаждении
соединений
,
а
также
пористость
пленок
.
И
в
заключение
раздела
,
посвященного
технологическим
аспектам
изготовления
интерференционных
покрытий
,
отметим
,
что
непрерывно
расширяющийся
рабочий
спектральный
диапазон
оптических
приборов
определяет
требования
к
конструкционным
составляющим
,
в
первую
очередь
,
к
оптическим
элементам
и
их
тонкослойным
покрытиям
.
Наряду
с
изучением
свойств
оптических
тонкопленочных
систем
,
наибольшие
усилия
,
несомненно
,
затрачиваются
на
поиски
новых
материалов
для
их
реализации
.
Разработка
технологии
получения
новых
материалов
в
совокупности
с
созданием
методов
и
средств
получения
тонких
пленок
этих
материалов
позволяет
и
в
дальнейшем
совершенствовать
как
технологию
изготовления
интерференционных
покрытий
,
так
и
их
эксплуатационные
,
спектральные
и
экономические
характеристики
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 124
- 125
- 126
- 127
- 128
- …
- следующая ›
- последняя »
