Составители:
Рубрика:
127
ЧАСТЬ III. ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ
3.1. Лабораторная работа №1
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ
Цель работы
–
знакомство
с
методами
изготовления
интерференционных
пленок
и
покрытий
различного
назначения
(
одиночных
пленок
,
просветляющих
покрытий
,
зеркал
),
их
изготовление
и
исследование
в
лабораторных
условиях
.
Методические указания
Методы
создания
плёночных
покрытий
подробно
описаны
во
второй
части
данного
учебного
пособия
.
В
этом
разделе
приведены
лишь
некоторые
основные
сведения
,
касающиеся
изготовления
интерференционных
покрытий
.
Тонкослойные
покрытия
позволяют
изменять
оптические
,
механические
,
химические
,
электрические
и
другие
свойства
оптических
деталей
.
В
настоящее
время
более
98%
оптических
деталей
имеют
покрытия
.
Эти
покрытия
можно
разделить
на
оптические
,
электропроводящие
и
защитные
покрытия
.
К
основным
видам
покрытий
относятся
оптические
покрытия
.
Их
удельный
вес
составляет
около
90 % .
Наиболее
распространенным
способом
получения
оптических
пленок
является
осаждение
их
в вакууме
при
термическом
испарении
пленкообразующего
вещества
с
последующей
его
конденсацией
на
подложку
.
Основными
преимуществами
вакуумных
методов
являются
возможность
надежного
контроля
основных
технологических
параметров
в
процессе
нанесения
покрытий
,
хорошая
воспроизводимость
результатов
,
высокая
производительность
.
Вакуумные
методы
,
основанные
на
термическом
испарении
пленкообразующего
материала
,
используются
для
получения
покрытий
в диапазоне
спектра
(0,2 - 20)
мкм
.
При
термическом
испарении
пленкообразующее
вещество
нагревается
в
вакуумной
камере
до
температуры
,
при
которой
происходит
его
интенсивное
испарение
в
условиях
высокого
вакуума
.
Это
соответствует
давлению
насыщенных
паров
порядка
1
Па
.
Обычно
[6, 15,16]
температуру
,
при
которой
давление
насыщенных
паров
составляет
1,33
Па
,
называют
условной
температурой
Т
Р
.
Испаряемое
вещество
оседает
на
подложках
и
создает
оптическую
пленку
.
Испаренные
молекулы
материала
попадают
на
подложку
,
где
из
них
происходит
образование
островковой
структуры
,
сливающейся
в
сплошную
пленку
.
Чем
выше
температура
испарения
материала
,
тем
меньше
размеры
островков
.
В
частности
,
тугоплавкие
металлы
образуют
практически
сразу
монопленки
,
т
.
е
.
происходит
образование
однородной
моноструктуры
,
которая
может
в
дальнейшем
служить
хорошим
адгезионным
слоем
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 125
- 126
- 127
- 128
- 129
- …
- следующая ›
- последняя »
