Составители:
Рубрика:
23
определяются технико-эксплуатационными условиями применения детали.
Режимы испарения (ток накала, эмиссии, ускоряющее напряжение) для
электронно-лучевого испарения и ток накала для резистивного испарения
выбираются в зависимости от пленкообразующего материала и типа
испарителя.
Прежде чем рассматривать конкретные просветляющие диэлектрические
системы, выведем несколько соотношений, полезных для более подробного
анализа. Условие просветления означает равенство нулю энергетического
коэффициента отражения, т.е. R=0. По определению R=r
0
2
, отсюда следует, что
условие просветления может быть записано в виде r
0
=0. Амплитудный
коэффициент отражения непоглощающей системы слоев, выраженный через
элементы матрицы интерференции равен
(
)
(
)
( ) ( )
.
2112022110
2112022110
mmnnimnmn
mmnnimnmn
r
SS
SS
+++
−+−
=
(1.34)
Нетрудно показать, что равенство нулю амплитудного коэффициента
отражения будут выполняться, если одновременно равны нулю действительная
и мнимая части числителя
=−
=−
0
0
21120
22110
mmnn
mnmn
S
S
(1.35)
при условии, что (n
0
m
11
+ n
s
m
22
)
2
+ (n
0
n
s
m
12
+ m
21
)
2
≠0.
Наиболее часто используются двухслойные покрытия, оптические
толщины которых не равны друг другу.
Матрица интерференции, описывающая такие покрытия, имеет вид [3]
,
cossin
sincos
cossin
sincos
222
2
2
2
111
1
1
1
2221
1211
ϕϕ
ϕϕ
ϕϕ
ϕϕ
=
in
n
i
in
n
i
mim
imm
(1.36)
где n
1
- показатель преломления слоя, граничащего с воздухом,
λπ=ϕ
111
2 dn
- оптическая толщина слоя, граничащего с воздухом,
n
2
- показатель преломления слоя, прилегающего к подложке,
λπ=ϕ
222
2 dn
- оптическая толщина слоя, прилегающего к подложке.
Значения элементов матрицы интерференции, выраженные через
параметры слоев, равны
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 21
- 22
- 23
- 24
- 25
- …
- следующая ›
- последняя »
