ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
14
Таким образом, данная система позволяет сфокусировать кластеры,
траектории которых расположены на достаточно большом расстоянии от
центральной оси газового потока, с большим распределением по их размеру.
Кроме того, данное устройство системы аэродинамических фокусирующих линз
очень компактное, включает в себя всего несколько элементов и может быть
относительно легко вмонтировано в установку для осаждения кластеров.
2.3 Источники кластеров
Сфокусированный с помощью системы аэродинамических линз
сверхзвуковой кластерный пучок поступает в камеру осаждения, где и
происходит нанесение кластеров или тонких пленок на субстрат.
Однако прежде чем рассмотреть более подробно сам процесс осаждения,
вернемся к процессу формирования кластеров и рассмотрим строение основных
типов источников кластеров – устройств, в которых непосредственно и
происходит образование наноструктурных систем.
Напомним еще раз тот факт, что процесс формирования кластеров всегда
протекает в присутствие буферного газа (чаще всего инертного), который
выполняет две функции:
а) играет роль термолизующей ванны,
б) служит переносчиком уже сформировавшихся наночастиц.
Следует заметить, что одним из ключевых параметров при синтезе
нанокластеров является давление внутри кластерного источника, которое
определяет эффективность процессов конденсации, тогда как градиент давлений
влияет на процессы извлечения кластеров из источника и манипуляции ими (см.
далее).
Градиент давлений зависит от давления буферного газа, от геометрии
источника и сопла, а также от отношения давлений внутри и вне источника
кластеров.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 12
- 13
- 14
- 15
- 16
- …
- следующая ›
- последняя »
