ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
15
Для контроля всех описанных аспектов были предложены различные
технические решения, которые и определили существование кластерных
источников различных типов.
В зависимости от режима подачи и извлечения газа, кластерные источники
могут быть систематизированы следующим образом:
- источники, работающие в непрерывном режиме,
- источники, работающие в импульсном режиме.
Также возможно провести классификацию по методу, лежащему в основе
получения кластеров – нагревание, лазерная абляция, микроплазменная абляция,
разряд электрической дуги.
2.3.1 Источники кластеров на основе нагревания
Источники кластеров на основе нагревания имеют достаточно простой
принцип работы. Они состоят из резервуара, в котором поддерживается
определенное давление паров исходного материала (то есть, материала, из
которого хотят сформировать кластеры). Резервуар имеет хорошо выраженное
выходное отверстие. А контроль над давлением и температурой пара в
резервуаре, необходимыми для того, чтобы начался процесс образования
кластерных зародышей, осуществляется путем смешивания паров материала с
инертным газом.
При этом самообразование паров исходного материала происходит в
результате нагревания материала с помощью высокотемпературных тиглей.
Давление паров в источниках данного типа высокой интенсивности обычно
поддерживается на уровне примерно от 10
-3
до 10
-4
мбар, а это означает, что
работа таких источников должна проходить в достаточно высокотемпературном
режиме.
Источники кластеров на основе нагревания используются для получения
кластеров из материалов с низкой температурой парообразования. Однако даже в
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 13
- 14
- 15
- 16
- 17
- …
- следующая ›
- последняя »
