Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 109 стр.

Индивидуальные карбонаты ЩЗМ полностью разлагаются (равновесное
давление углекислого газа достигает 760 мм рт. ст.) при следующих
температурах: СаСО3 – 845 - 865°С; SrCO3 - 1211°С и ВаСО3 - 1454°С. В
условиях откачки карбонаты Щ3М начинают заметно диссоциировать при
меньших температурах: СаСO3 - 515°С; SrCО3 - 705°C; ВаСО3 - 790°С.
Максимальное      газовыделение     в    ходе   термического   распада      этих
карбонатов наблюдается соответственно при следующих температурах:
650, 870, 980°С. Вероятно, температуру 980°С можно считать наиболее
разумным верхним пределом при термической обработке карбонатных
покрытий, так как она характеризует интенсивное разложение самого
термостойкого карбоната в покрытии - ВаСО3. При этой температуре
произойдет довольно быстро полное разложение всех карбонатов ЩЗМ.
Так как один из продуктов реакции (углекислый газ) удаляется в ходе
откачки, то нет необходимости доводить температуру катода до 1454°С.
     Обычно стараются в покрытии иметь гомогенные твердые растворы
карбонатов ЩЗМ (двойные или тройные). В этом случае в ходе
последовательного разложения карбонатов при подъеме температуры
получают гомогенные твердые растворы оксидов ЩЗМ. Если, например,
исходить из механических смесей отдельных карбонатов ЩЗМ, то после
их   разложения    получаются     отдельные     фазы    оксидов   и   для    их
гомогенизации,     "растворения",       потребуется    довольно   длительная
выдержка при повышенных (более 1000°С) температурах. При этом можно
наблюдать такие нежелательные явления, как увеличение размера
кристаллов оксидов и заметное испарение наиболее летучего оксида бария
(и бария) из покрытия. Рост кристаллов приводит к уменьшению их
поверхности и снижению эмиссии. Испарившиеся оксид бария и барий
конденсируются на анодах, сетках, что приводит к нежелательной эмиссии
с этих электродов, кроме того, снижается запас бария в покрытии катода,
что приводит к уменьшению эмиссии и снижению срока службы ЭВП.

                                        109