Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 64 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

64
Металл R, % ρ, 10
-6
Ом·см
Серебро 98,4 2,07
Медь 92,8 2,28
Золото 91,9 2,89
Алюминий 91,0 3,86
Но высокие значения коэффициента отражения можно получить
лишь для пленок, полученных в оптимальных условиях. Факторами,
влияющими на коэффициент отражения, являются: скорость напыления,
давление во время напыления, толщина напыленной пленки, температура
подложки, угол падения вещества, степень чистоты испаряемого
материала и, наконец, старение полученного покрытия на воздухе.
Поглощение света металлами может быть использовано для оценки
толщины металлической пленки. Прохождение света через проводящие
вещества определяется соотношением:
I=I
0
exp(-4πnkd/λ),
где d-толщина поглощающего слоя;
n - показатель преломления для длины волны λ;
k - показатель поглощения для длины волны λ;
I
0
- интенсивность падающего излучения;
I - интенсивность прошедшего излучения.
Измерение коэффициента пропускания полупрозрачной
металлической пленки (I/I
0
) позволит оценить ее толщину по приведенной
выше формуле.
Таблица 2.1
λ = 500 нм
Материал
n k
Cu 1,06 2,55
Fe 1,46 2,17
Mo 3,15 1,18
Ni 1,54 2,01
V 2,65 2,56 
       Металл                      R, %                   ρ, 10-6 Ом·см
       Серебро                     98,4                        2,07
        Медь                       92,8                        2,28
       Золото                      91,9                        2,89
      Алюминий                     91,0                        3,86


     Но высокие значения коэффициента отражения можно получить
лишь для пленок, полученных в оптимальных условиях. Факторами,
влияющими на коэффициент отражения, являются: скорость напыления,
давление во время напыления, толщина напыленной пленки, температура
подложки,    угол   падения   вещества,   степень   чистоты    испаряемого
материала и, наконец, старение полученного покрытия на воздухе.
     Поглощение света металлами может быть использовано для оценки
толщины металлической пленки. Прохождение света через проводящие
вещества определяется соотношением:
     I=I0exp(-4πnkd/λ),
где d-толщина поглощающего слоя;
n - показатель преломления для длины волны λ;
k - показатель поглощения для длины волны λ;
I0 - интенсивность падающего излучения;
I - интенсивность прошедшего излучения.
     Измерение       коэффициента         пропускания      полупрозрачной
металлической пленки (I/I0) позволит оценить ее толщину по приведенной
выше формуле.
                                                                Таблица 2.1
                                             λ = 500 нм
       Материал
                                     n                         k
            Cu                     1,06                       2,55
            Fe                     1,46                       2,17
            Mo                     3,15                       1,18
            Ni                     1,54                       2,01
            V                      2,65                       2,56



                                    64

Страницы