Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 62 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

62
Не рассматривая математического вывода формул, отметим, что на
спектре пропускания системы пленка-подложка при нормальном падении
излучения экстремальные значения наблюдаются при условии n
пл
·d=m·λ/4,
где n
пл
-показатель преломления пленки;
d-толщина пленки;
m - порядок интерференции;
λ длина волны в экстремуме.
Максимальные значения коэффициента пропускания соответствуют
четным m, минимальные - нечетным. Для двух соседних экстремумов с
четным m можно записать:
n
пл
·d = m·λ
m
/4=(m+2)· λ
m+2
/4,
λ
m
и λ
m+2
- длины волн, соответствующие соседним экстремумам с четным
m.
Отсюда .2m
2
m
m
2m
+
+
λ−λ
λ
=
Если показатель преломления пленки неизвестен, то его находят из
выражения:
,
)nn)(n(
nn
T
пл
п
пл
ппл
222
2
1
4
++
=
где Т-коэффициент пропускания системы пленка-подложка для нечетного
m; n
пл
- показатель преломления пленки;
n
п
- показатель преломления подложки;
Определив m, n
п
, n
пл
, определяют толщину пленки d.
3. Измерение коэффициента пропускания металлических пленок
В отличие от диэлектриков и полупроводников в металлах большое
число электронов слабо связано с атомами металла, и эти электроны
считают свободными. Наличием свободных электронов объясняются 
       Не рассматривая математического вывода формул, отметим, что на
спектре пропускания системы пленка-подложка при нормальном падении
излучения экстремальные значения наблюдаются при условии nпл·d=m·λ/4,
где nпл-показатель преломления пленки;
d-толщина пленки;
m - порядок интерференции;
λ длина волны в экстремуме.
Максимальные           значения     коэффициента   пропускания   соответствуют
четным m, минимальные - нечетным. Для двух соседних экстремумов с
четным m можно записать:
nпл·d = m·λm/4=(m+2)· λm+2/4,
λm и λm+2 - длины волн, соответствующие соседним экстремумам с четным
m.
                    λm+2
Отсюда m = 2                .
                  λm − λm+2
Если показатель преломления пленки неизвестен, то его находят из
выражения:
               2
            4n пл nп
T=                              ,
        2
     (n пл + 1)(n п2 + n пл
                         2
                            )
где Т-коэффициент пропускания системы пленка-подложка для нечетного
m; nпл - показатель преломления пленки;
nп - показатель преломления подложки;
Определив m, nп, nпл, определяют толщину пленки d.


      3. Измерение коэффициента пропускания металлических пленок
       В отличие от диэлектриков и полупроводников в металлах большое
число электронов слабо связано с атомами металла, и эти электроны
считают свободными. Наличием свободных электронов объясняются


                                          62

Страницы