Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 114 стр.

UptoLike

Составители: 

114
íóþ ïëîùàäêó ëåíòû è ñ ïîìîùüþ ïðîâîëî÷íûõ èëè ïëîñêèõ ïåðåìû-
÷åê ïîäñîåäèíÿþò êîíòàêòíûå ïëîùàäêè êðèñòàëëà ê âûâîäàì ëåíòû.
Ïðîèçâîäÿò ãåðìåòèçàöèþ, è ÈÌ ñ âûâîäàìè îòäåëÿþò îò ïîääåðæè-
âàþùåé ÷àñòè ëåíòû. Íà æåñòêèõ ëåíòàõ èçãîòàâëèâàþò òîëüêî âíå-
øíèå âûâîäû ÈÌ.
8.6. Ãåðìåòèçàöèÿ ìèêðîñõåì â êîðïóñû
Ãåðìåòèçàöèÿ ÈÌ èñïîëüçóåòñÿ äëÿ èçîëÿöèè êðèñòàëëîâ îò âîç-
äåéñòâèÿ àãðåññèâíûõ ôàêòîðîâ âíåøíåé ñðåäû. Äëÿ ýòîãî èñïîëüçó-
þòñÿ ðàçëè÷íûå ìåòîäû è ñïîñîáû ãåðìåòèçàöèè â ñïåöèàëüíûõ êîðïó-
ñàõ (ðèñ. 43). Êîíñòðóêöèè êîðïóñîâ îäíîâðåìåííî ïîçâîëÿþò îñóùå-
ñòâëÿòü ýëåêòðè÷åñêèå ñîåäèíåíèÿ êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê êðèñòàëëîâ ñ
ïå÷àòíûì è ïðîâîäíûì ìîíòàæåì ïå÷àòíûõ óçëîâ ýëåêòðîííîé àïïàðà-
òóðû. Ãåðìåòèçàöèÿ ÈÌ â êîðïóñàõ ðàçäåëÿåòñÿ íà äâà îñíîâíûõ âèäà:
âàêóóìïëîòíóþ è íåãåðìåòè÷íóþ. Äàëüíåéøàÿ êëàññèôèêàöèÿ îñóùå-
ñòâëÿåòñÿ ïî âèäàì êîðïóñîâ.
Òèïû êîðïóñîâ. Êëàññèôèêàöèÿ êîðïóñîâ ïî âíåøíåìó êîíñòðóêòèâ-
íîìó îôîðìëåíèþ ïðèâåäåíà â òàáë. 4. Ãàáàðèòíûå è ïðèñîåäèíèòåëü-
íûå ðàçìåðû êàæäîãî òèïà êîðïóñîâ ñòðîãî ñòàíäàðòèçîâàíû.
Âàêóóì-ïëîòíàÿ Íåãåðìåòè÷íàÿ
Ìåòàëëî-
ñòåêëÿííûå
Ìåòàëëî-
êåðàìè÷åñêèå
Êåðàìè-
÷åñêèå
Ñòåêëÿííûå
Ïëàñò-
ìàññîâûå
Ñâàðêà Ïàéêà Ñêëåèâàíèå
Õîëîä-
íàÿ
Àðãîíî-
äóãîâàÿ
Ëàçåðíàÿ
Êîâåêòèâíàÿ â ïå÷àõ
Ýëåêòðîííî-
ëó÷åâàÿ
Ñòðóåé ãîðÿ÷åãî ãàçà
Ìèêðî-
ïëàçìåííàÿ
Ýëåêòðî-
êîíòàêòíàÿ
Ðèñ. 43. Êëàññèôèêàöèÿ ìåòîäîâ è ñïñîáîâ ãåðìåòèçàöèè ÈÌ â êîðïóñà
ïëîòíàÿ