Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 116 стр.

UptoLike

Составители: 

116
Äëÿ ñîåäèíåíèÿ êåðàìè÷åñêèõ äåòàëåé ñ ìåòàëëè÷åñêèìè, íàïðèìåð
âûâîäîâ ñ ðàìêîé äëÿ ïëîñêîãî êåðàìè÷åñêîãî êîðïóñà, êåðàìèêó ìå-
òàëëèçèðóþò ñ ïîìîùüþ ìîëèáäåíî-ìàðãàíöåâûõ ïàñò èëè ìåòàëëè-
÷åñêîé ôîëüãè òîëùèíîé 3050 ìêì. Ìåòàëëèçàöèþ âûïîëíÿþò: íàìàç-
êîé ïàñòû êèñòî÷êîé, ðàñïûëåíèåì ÷åðåç ñâîáîäíóþ ìàñêó, òðàôàðåò-
íîé ïå÷àòüþ, âûðóáêîé èç ôîëüãè ñ ïîñëåäóþùåé ïðèêëåéêîé.
Íà ìåòàëëèçàöèþ ýëåêòðîëèòè÷åñêè íàíîñÿò ñëîé íèêåëÿ èëè ìåäè
òîëùèíîé 35 ìêì è çàòåì ïðîèçâîäÿò âæèãàíèå. Âòîðîé ìåòîä ñîåäè-
íåíèÿ ìåòàëëà ñ êåðàìèêîé ÷åðåç ñëîé ïðèïîéíîãî ñòåêëà, êîòîðîå â
âèäå ñóñïåíçèè íàíîñèòñÿ íà ñîåäèíÿåìûå ïîâåðõíîñòè è çàòåì ñïåêà-
åòñÿ ïðè òåìïåðàòóðå 400500
î
Ñ.
Ãàëüâàíè÷åñêèå ïîêðûòèÿ äåòàëåé êîðïóñîâ íåîáõîäèìû äëÿ ïî-
ëó÷åíèÿ ãëàäêèõ ïîâåðõíîñòåé, çàùèòû îò êîððîçèè, îáåñïå÷åíèÿ âûñî-
êîãî êà÷åñòâà èõ ñîåäèíåíèé ïðè ãåðìåòèçàöèè. Ïåðåä íàíåñåíèåì ãàëü-
âàíè÷åñêèõ ïîêðûòèé äåòàëè òùàòåëüíî îáåçæèðèâàþò, òðàâÿò, ïðîìû-
âàþò. Íà ãàëüâàíè÷åñêîì ó÷àñòêå âûïîëíÿþòñÿ: õèìè÷åñêîå íèêåëèðî-
âàíèå êîâàðîâûõ äåòàëåé, ýëåêòðîëèòè÷åñêîå íèêåëèðîâàíèå ìåäíûõ è
ñòàëüíûõ äåòàëåé, ìåäíåíèå èçîëÿòîðîâ, çîëî÷åíèå íîæåê è äð.
8.7. Çàêëþ÷èòåëüíûå îïåðàöèè èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîñõåì
Äî âûïîëíåíèÿ çàêëþ÷èòåëüíûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ïîñëå
ãåðìåòèçàöèè ÈÌ ïðîâîäÿò êëèìàòè÷åñêèå, ýëåêòðè÷åñêèå è ìåõàíè-
÷åñêèå èñïûòàíèÿ. Íåîáõîäèìîñòü ýòèõ èñïûòàíèé îáóñëîâëåíà íàëè-
÷èåì ñêðûòûõ äåôåêòîâ èç-çà íåñîâåðøåíñòâ êîíñòðóêöèè, èñïîëüçîâà-
íèÿ ìàòåðèàëîâ èëè ðåæèìîâ, íå îòâå÷àþùèõ òðåáîâàíèÿì èëè òåõíî-
ëîãè÷åñêîé äîêóìåíòàöèè è äð.  ïðîöåññå òåõíîëîãè÷åñêèõ èñïûòàíèé
ÈÌ ñî ñêðûòûìè äåôåêòàìè îòáðàêîâûâàþòñÿ, òåì ñàìûì ãàðàíòèðó-
åòñÿ íàäåæíîñòü â óñëîâèÿõ ýêñïëóàòàöèè. Ïîñëå ïðîõîæäåíèÿ âñåõ
ýòàïîâ òåõíîëîãè÷åñêèõ èñïûòàíèé è èçìåðåíèé ïàðàìåòðîâ âûïîëíÿ-
þòñÿ çàêëþ÷èòåëüíûå òåõíîëîãè÷åñêèå îïåðàöèè è ÈÌ ìîãóò áûòü îò-
ïðàâëåíû ïîòðåáèòåëÿì. Ê çàêëþ÷èòåëüíûì òåõíîëîãè÷åñêèì îïåðà-
öèÿì îòíîñÿòñÿ îïåðàöèè âíåøíåãî îôîðìëåíèÿ, îáåñïå÷èâàþùèå çà-
ùèòó ÈÌ îò âíåøíèõ âîçäåéñòâèé, óäîáñòâî ïîäñîåäèíåíèÿ â àïïàðà-
òóðó, à òàêæå äàþùèå èíôîðìàöèþ î òèïå ÈÌ è âíåøíåå ýñòåòè÷åñêîå
îôîðìëåíèå.