Составители:
Рубрика:
118
îáðàáîòîê è óìåíüøàåò îòêàçû ÈÌ, ñâÿçàííûå ñ äåôåêòàìè ìàòàëëè-
çàöèè.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ âûïóñêàþòñÿ ìèêðîñõåìû, ñîäåðæàùèå 10
4
10
6
ýëåìåíòîâ íà êðèñòàëë. Áëàãîäàðÿ íåïðåðûâíîìó ñîâåðøåíñòâîâàíèþ
òåõíîëîãèè îñóùåñòâëÿþòñÿ ðàáîòû ïî èçãîòîâëåíèþ ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ
ñ ðàçìåðàìè ýëåìåíòîâ ïîðÿäêà 0,30,5 ìêì. Åæåãîäíî ñòåïåíü èíòåã-
ðàöèè âîçðàñòàåò ïðèáëèçèòåëüíî â 2 ðàçà, áûñòðîäåéñòâèå ïî÷òè â
1,5 ðàçà.
Òàêæå âåäóòñÿ ðàáîòû ïî ñîçäàíèþ ìèêðîñõåì áîëåå âûñîêîãî áû-
ñòðîäåéñòâèÿ íà ïåðñïåêòèâíûõ ìàòåðèàëàõ: àðñåíèäå ãàëëèÿ GaAs è
ôîñôèäå èíäèÿ InP. Çòè ìàòåðèàëû îáëàäàþò áîëåå âûñîêîé ïîäâèæíî-
ñòüþ íîñèòåëåé òîêà ïî ñðàâíåíèþ ñ ïîäâèæíîñòüþ â êðåìíèè. Ïðè òîé
æå ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ áûñòðîäåéñòâèå ëîãè÷åñêèõ âåíòèëåé íà àðñå-
íèäå ãàëëèÿ â íåñêîëüêî ðàç âûøå, ÷åì íà êðåìíèè. Ïðåèìóùåñòâîì
àðñåíèä-ãàëëèåâûõ ìèêðîñõåì ÿâëÿåòñÿ òàêæå âîçìîæíîñòü ðàáîòû ïðè
áîëåå âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ (350400
î
Ñ). Àðñåíèä ãàëëèÿ áóäåò øè-
ðîêî ïðèìåíÿòüñÿ äëÿ ïðîèçâîäñòâà ìèêðîñõåì ÑÂ×-äèàïàçîíà.
Ôîòîëèòîãðàôèÿ, ïî ìíåíèþ ñïåöèàëèñòîâ, ñîõðàíèò äîìèíèðóþùåå
ïîëîæåíèå, ïî êðàéíåé ìåðå, â òå÷åíèå áëèæàéøèõ ëåò, êîãäà ýêñïîíè-
ðîâàíèå ãëóáîêèì ÓÔ-èçëó÷åíèåì áóäåò ïðèìåíÿòüñÿ äëÿ ôîðìèðîâà-
íèÿ ýëåìåíòîâ ðàçìåðàìè ìåíåå 1 ìêì. Ïðîãðåññèâíûå ìåòîäû ýëåê-
òðîííàÿ è ðåíòãåíîâñêàÿ ëèòîãðàôèè øèðîêîå ïðîìûøëåííîå ïðèìå-
íåíèå íàéäóò â áëèæàéøèå 5 ëåò, òîãäà áóäåò äîñòèãíóòà øèðèíà ëèíèè
0,80,5 ìêì. Íîâåéøèé ìåòîä èîííî-ëó÷åâîé ëèòîãðàôèè â òå÷åíèå
áëèæàéøèõ ëåò áóäåò íàõîäèòüñÿ â ñòàäèè èññëåäîâàíèé, è øèðèíà ëè-
íèè ñìîæåò äîñòè÷ü 0,3 ìêì.
Ñ ðàçâèòèåì ìåòîäîâ îáåñïå÷åíèÿ ñóáìèêðîííûõ òîïîëîãè÷åñêèõ
ðèñóíêîâ áóäóò ïðîäîëæàòüñÿ èññëåäîâàíèÿ ïî ïðîìûøëåííîìó ïðîèç-
âîäñòâó ïëàñòèí ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè òðåáîâàíèÿì ëèòîãðàôèè ïàðà-
ìåòðàìè, à òàêæå ðàáîòû ïî çàìåíå æèäêîñòíûõ îáðàáîòîê íà ñóõèå
îáðàáîòêè, â òîì ÷èñëå íà ïðîöåññû ïåðåäà÷è èçîáðàæåíèé áåç èñêàæå-
íèÿ òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà. Íàèáîëåå øèðîêî ïðèìåíÿåìûìè ïðè èç-
ãîòîâëåíèè ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ ìåòîäàìè ñóõîãî òðàâëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ
ðåàêòèâíîå èîííîå è ïëàçìåííîå òðàâëåíèå, îáåñïå÷èâàþùèå âûñîêóþ
òî÷íîñòü ïåðåäà÷è ðèñóíêà ñ ðåçèñòèâíîé ìàñêè íà ìàòåðèàë ÈÌ.
Ñ óìåíüøåíèåì ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ ÈÌ îñîáåííî âàæíûì ñòàíî-
âèòñÿ óëó÷øåíèå ñåëåêòèâíîñòè è êîíòðîëÿ ïðîôèëÿ òðàâëåíèÿ. Îæèäà-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 116
- 117
- 118
- 119
- 120
- …
- следующая ›
- последняя »
