Составители:
Рубрика:
117
3ÀÊËÞ×ÅÍÈÅ
 íàñòîÿùåå âðåìÿ îñíîâíûìè íàïðàâëåíèÿìè ïðîìûøëåííîãî ïðî-
èçâîäñòâà ÈÌ ÿâëÿþòñÿ ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ, òîíêîïëåíî÷íàÿ è òîëñòî-
ïëåíî÷íàÿ òåõíîëîãèè.
Ïðàêòè÷åñêè ñ ìîìåíòà ïîÿâëåíèÿ ìèêðîñõåì è â íàñòîÿùåå âðåìÿ
îñíîâíîé ïðîáëåìîé òåõíîëîãèè èõ ïðîèçâîäñòâà ÿâëÿåòñÿ ïîâûøåíèå
ñòåïåíè èíòåãðàöèè, ÷òî îáóñëîâëåíî äâóìÿ ïðåèìóùåñòâàìè ÈÌ ñ
ìàëûìè ðàçìåðàìè ýëåìåíòîâ: óëó÷øåííûå ïàðàìåòðû è ìåíüøàÿ ñòî-
èìîñòü â ïåðåñ÷åòå íà îäèí àêòèâíûé ýëåìåíò (òðàíçèñòîð). Ýòà ïðî-
áëåìà îáóñëîâëèâàåò íàïðàâëåíèÿ èññëåäîâàíèé è õàðàêòåð ñîâåðøåí-
ñòâîâàíèÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ. Çà ïîñëåäíèå ãîäû ýòî ïðèâåëî
ê çíà÷èòåëüíûì èçìåíåíèÿì òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà èíòåãðàëüíûõ
ìèêðîñõåì.
Ïî-ïðåæíåìó îñíîâíîé ìàòåðèàë äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêî-
âûõ ÈÌ êðåìíèé, íî ñ ïîâûøåíèåì ñòåïåíè èíòåãðàöèè ìèêðîñõåì
òðåáîâàíèÿ ê íåìó óòî÷íÿþòñÿ è ñòàíîâÿòñÿ áîëåå æåñòêèìè. Ñ óâåëè-
÷åíèåì äèàìåòðà ïëàñòèí è äëèíû ñëèòêîâ èçìåíèëñÿ ìàðøðóò èçãî-
òîâëåíèÿ ïëàñòèí è ïîÿâèëèñü ñòàíêè, ïîçâîëÿþùèå ðàçðåçàòü äëèííûå
ñëèòêè. Ïîñëåäíåå èñêëþ÷àåò èç ìàðøðóòà èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí îïå-
ðàöèþ ðàçäåëåíèÿ ñëèòêîâ íà ÷àñòè.  ìàðøðóòå èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí
ïîÿâèëîñü áîëüøîå êîëè÷åñòâî îïåðàöèé õèìè÷åñêîé î÷èñòêè è òðàâëå-
íèÿ, èçãîòîâëåíèÿ ôàñêè ïî ïåðèìåòðó ïëàñòèí è äð.
Îäíîé èç âàæíåéøèõ çàäà÷ ñîâåðøåíñòâîâàíèÿ òåõíîëîãèè â íàïðàâ-
ëåíèè ïîâûøåíèÿ ñòåïåíè èíòåãðàöèè ÈÌ ÿâëÿåòñÿ óìåíüøåíèå ñîïðî-
òèâëåíèÿ êîíòàêòîâ è ìåæýëåìåíòíûõ ñîåäèíåíèé. Ïåðâîå èç íèõ óâå-
ëè÷èâàåòñÿ êâàäðàòè÷íî, à âòîðîå èçìåíÿåòñÿ ëèíåéíî ñ óìåíüøåíèåì
ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ. Ýòà çàäà÷à ðåøàåòñÿ ïóòåì èñïîëüçîâàíèÿ íîâûõ
ìàòåðèàëîâ (ïîëèêðåìíèé, ñèëèöèäû, îêñèäû òóãîïëàâêèõ ìåòàëëîâ) è
ñîâåðøåíñòâîâàíèåì òåõíîëîãèè ôîðìèðîâàíèÿ ìåòàëëèçàöèè. Áîëüøîå
âíèìàíèå óäåëÿåòñÿ ïëàíàðèçàöèè, ò. å. ñîçäàíèþ ïëîñêîé áåññòóïåí÷à-
òîé ïîâåðõíîñòè ñòðóêòóð, ÷òî îáëåã÷àåò ïðîâåäåíèå ëèòîãðàôè÷åñêèõ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 115
- 116
- 117
- 118
- 119
- …
- следующая ›
- последняя »
