Составители:
Рубрика:
119
åòñÿ â áóäóùåì, ïðîâåäåíèå èññëåäîâàíèé, ðàñêðûâàþùèõ ôèçè÷åñêèå
è õèìè÷åñêèå çàêîíîìåðíîñòè, ëåæàùèå â îñíîâå ïðîöåññîâ ñóõîãî òðàâ-
ëåíèÿ, à òàêèå î÷èñòêè ïîâåðõíîñòåé ïëàñòèí è ïîäëîæåê, ïðîÿâëåíèÿ è
óäàëåíèÿ ðåçèñòîâ.
Íàðÿäó ñ ñóõèìè ìåòîäàìè ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè â ïðîìûøëåí-
íîì ïðîèçâîäñòâå áîëüøèõ è ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ áóäóò ïðèìåíÿòüñÿ òà-
êèå ïðîãðåññèâíûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû, êàê ìîëåêóëÿðíî-ëó÷å-
âàÿ ýïèòàêñèÿ, èîííîå ëåãèðîâàíèå, ëàçåðíûé îòæèã è «ôðåçåðîâàíèå».
Òåíäåíöèÿ ïåðåâîäà ïðîèçâîäñòâà ìèêðîñõåì ñ âûñîêîé ñòåïåíüþ
èíòåãðàöèè íà ñóõèå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðîöåññû è ïðîöåññû â âàêóóìå è
ïðè ïîíèæåííîì äàâëåíèè ñâÿçàíà íå òîëüêî ñ èõ âîçìîæíîñòÿìè ïîëó-
÷åíèÿ ìàëûõ ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ, íî è ñ íåîáõîäèìîñòüþ èíòåãðàöèè
ñàìîé òåõíîëîãèè, ò.å. ñîçäàíèÿ òåõíîëîãèè, ïîçâîëÿþùåé ñîâìåùàòü
ðàçëè÷íûå ïî ñâîåé ôèçèêî-õèìè÷åñêîé ïðèðîäå ïðîöåññû êàê «ïî âðå-
ìåíè» èõ ïðîòåêàíèÿ (ãðóïïîâàÿ òåõíîëîãèÿ), òàê è «ïî ìåñòó» â åäèíîì
òåõíîëîãè÷åñêîì îáúåìå.
Íîâîé òåíäåíöèåé ïîâûøåíèÿ ñòåïåíè èíòåãðàöèè ÿâëÿåòñÿ ñîçäà-
íèå ÈÌ íà êðèñòàëëàõ áîëüøèõ ïëîùàäåé. Íî ÷åì áîëüøå ïëîùàäü
êðèñòàëëà, òåì áîëüøå âåðîÿòíîñòü äåôåêòîâ íà åãî ïîâåðõíîñòè è òåì
ìåíüøå ïðîöåíò âûõîäà ãîäíûõ ñòðóêòóð ÈÌ íà ïëàñòèíå. Ýòî íàïðàâ-
ëåíèå ïîâûøåíèÿ ñòåïåíè èíòåãðàöèè ïðåäúÿâëÿåò åùå áîëåå æåñòêèå
òðåáîâàíèÿ ê ïëàñòèíàì êðåìíèÿ, ïðîìûøëåííîìó îáîðóäîâàíèþ è óñ-
ëîâèÿì ïðîèçâîäñòâà.
Òåõíè÷åñêèìè ðåøåíèÿìè ïðîáëåìû óìåíüøåíèÿ êîëè÷åñòâà ìèê-
ðî÷àñòèö, ïîïàäàþùèõ íà ïîâåðõíîñòü ñòðóêòóðû ÈÌ â ïðîöåññå åå
èçãîòîâëåíèÿ, è ìàêñèìàëüíîãî óñòðàíåíèÿ ñëó÷àéíûõ òåõíîëîãè÷åñ-
êèõ îøèáîê, ïðèâîäÿùèõ ê äåôåêòàì, ÿâëÿþòñÿ: ñíèæåíèå ïðîäîëæè-
òåëüíîñòè òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ, èñêëþ÷åíèå ìåæîïåðàöèîííîãî
õðàíåíèÿ ïîëóôàáðèêàòîâ, ñîçäàíèå êîìïëåêñíûõ àâòîìàòèçèðîâàííûõ
è àâòîìàòè÷åñêèõ ïðîèçâîäñòâ, ðîáîòèçàöèÿ äåéñòâóþùåãî ïðîìûø-
ëåííîãî îáîðóäîâàíèÿ, à òàêæå íîâûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïðèåìû. Ïðè-
ìåðîì ïîñëåäíåãî ìîæåò ñëóæèòü ïðèìåíåíèå ýëåêòðåòîâ ìàòåðèà-
ëîâ, ñïîñîáíûõ ïðèòÿãèâàòü ïûëü èç îêðóæàþùåé âîçäóøíîé ñðåäû.
Ñòåïåíü èíòåãðàöèè ìèêðîñõåì ìîæíî ïîâûøàòü, ïîêà íå áóäóò äî-
ñòèãíóòû ìèíèìàëüíûå ðàçìåðû ýëåìåíòîâ ñ òî÷êè çðåíèÿ ôèçè÷åñêèõ
ïðèíöèïîâ èõ ðàáîòû èëè èìåþùèõñÿ â äàííîå âðåìÿ òåõíè÷åñêèõ
ñðåäñòâ ïîëó÷åíèÿ òðåáóåìûõ ðàçìåðîâ è äîïóñêîâ. Íàïðèìåð, äëÿ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 117
- 118
- 119
- 120
- 121
- …
- следующая ›
- последняя »
