Составители:
Рубрика:
120
ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ êðèòè÷íà äëèíà êàíàëà, à äëÿ áèïîëÿðíîãî òðàíçèñ-
òîðà òîëùèíà áàçû. Ýòè âåëè÷èíû îãðàíè÷èâàþòñÿ ïðîáèâíûì íà-
ïðÿæåíèåì.
Äëÿ ïðèâåäåííûõ ïðèìåðîâ êðèòè÷íûå ðàçìåðû ñîñòàâëÿþò 250 íì.
 áëèæàéøèå 1020 ëåò îæèäàåòñÿ äîñòèæåíèå ïðåäåëüíûõ ðàçìåðîâ
ýëåìåíòîâ ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ, ñîîòâåòñòâóþùèõ ôóíäàìåíòàëüíûì
ôèçè÷åñêèì îãðàíè÷åíèÿì. Ñ÷èòàåòñÿ ðåàëüíûì ïîëó÷èòü óðîâåíü èí-
òåãðàöèè, ñîîòâåòñòâóþùèé 10
10
ýëåìåíòîâ íà êðèñòàëëå. Äàëüíåéøåå
óìåíüøåíèå ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ èìååò ôèçè÷åñêèå îãðàíè-
÷åíèÿ: ýëåêòðè÷åñêèé ïðîáîé ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêà, äèýëåêòðèêà, òóí-
íåëèðîâàíèå ýëåêòðîíîâ, òåïëîâîé ïðîáîé è äð. Â ñâÿçè ñ ýòèì â íàñòî-
ÿùåå âðåìÿ èìååòñÿ òåíäåíöèÿ ïåðåõîäà îò ñîçäàíèÿ îòäåëüíûõ áîëü-
øèõ è ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ ê ñîçäàíèþ èíòåãðàëüíûõ ñèñòåì íà èõ îñíî-
âå, ÷òî ñòèðàåò ãðàíè ìåæäó ñîçäàíèåì àïïàðàòóðû è åå áàçîâûìè ýëå-
ìåíòàìè. Â íàñòîÿùåå âðåìÿ âåäóòñÿ òàêæå èññëåäîâàíèÿ â îáëàñòè
ðàçðàáîòêè ïðèíöèïèàëüíî íîâûõ ñòðóêòóð ÏÈÌ íà ñâåðõðåøåòêàõ è
òðåõìåðíûõ ÈÌ.
Îñíîâíàÿ öåëü ñîçäàíèÿ ÏÈÌ íà ñâåðõðåøåòêàõ ïîâûøåíèå áûñ-
òðîäåéñòâèÿ. Òåõíîëîãèÿ ÏÈÌ íà àðñåíèäå ãàëëèÿ íåäîñòàòî÷íî ðàç-
ðàáîòàíà, ïîýòîìó èññëåäîâàòåëè èäóò ïî ïðèíöèïèàëüíî íîâîìó ïóòè
ñèíòåçó ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ ñî ñâåðõðåøåòêîé. Ñâåðõðåøåò-
êà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ìîíîêðèñòàëëè÷åñêóþ ãåòåðîñòðóêòóðó, ñîñòîÿ-
ùóþ èç î÷åíü òîíêèõ (410 íì) ñëîåâ ðàçëè÷íûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
ìàòåðèàëîâ. Ýëåêòðîíû â ñâåðõðåøåòêàõ ìîãóò òóííåëèðîâàòü ìåæäó
ñëîÿìè ñ î÷åíü áîëüøîé ñêîðîñòüþ, ÷òî îòêðûâàåò îãðîìíûå ïåðñïåê-
òèâû â ñîçäàíèè ñâåðõáûñòðîäåéñòâóþùèõ ìèêðîñõåì, âûïîëíÿþùèõ
ðàçëè÷íûå ôóíêöèè. Âûðàùèâàíèå ãåòåðîýïèòàêñèàëüíûõ ñâåðõðåøå-
òîê íàïðèìåð, â íàñòîÿùåå âðåìÿ âûïîëíÿåòñÿ ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâîé
ýïèòàêñèåé.
Òðåõìåðíûå ÈÌ áóäóò îòëè÷àòüñÿ îò îáû÷íûõ ïëàíàðíûõ òåì, ÷òî
èõ ñîçäàþò â íåñêîëüêèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîÿõ. Â êàæäîì îòäåëü-
íîì ïîëóïðîâîäíèêîâîì ñëîå ôîðìèðóåòñÿ ìèêðîñõåìà ñ îïðåäåëåííîé
ôóíêöèåé (ÇÓ, ìèêðîïðîöåññîð, óñòðîéñòâî ââîäà-âûâîäà, èñòî÷íèê ïè-
òàíèÿ è ò. ä.). Ìåæäó àêòèâíûìè ïîëóïðîâîäíèêàìè äîëæíû ðàñïîëà-
ãàòüñÿ èçîëÿöèîííûå ñëîè. Îñíîâíàÿ çàäà÷à ïðè ñîçäàíèè òðåõìåðíûõ
ÏÈÌ ðàçðàáîòêà òåõíîëîãèè ïîñëåäîâàòåëüíîãî íàðàùèâàíèÿ ìîíî-
êðèñòàëëè÷åñêèõ ñëîåâ ïîëóïðîâîäíèêà íà èçîëèðóþùèå ñëîè, ôîðìè-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 118
- 119
- 120
- 121
- 122
- …
- следующая ›
- последняя »
