Составители:
Рубрика:
121
ðîâàíèå ýëåìåíòîâ â ñëîÿõ ïîëóïðîâîäíèêà è ñîçäàíèå ìåæýëåìåíòíûõ
ñîåäèíåíèé êàê âíóòðè, òàê è ìåæäó ñëîÿìè. Ñàìûì ñëîæíûì â òåõíî-
ëîãè÷åñêîì ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ òðåõìåðíûõ ÏÈÌ ÿâëÿåòñÿ ýïèòàê-
ñèÿ íà èçîëèðóþùèå ñëîè.
Äàëüíåéøåå ðàçâèòèå ýëåìåíòíîé áàçû ýëåêòðîíèêè ôóíêöèîíàëü-
íàÿ ìèêðîýëåêòðîíèêà èäåò ïî ïóòè èíòåãðàöèè íîâûõ ôèçè÷åñêèõ
ÿâëåíèé.
