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Îãëàâëåíèå
Ïðåäèñëîâèå ....................................................................................................... 3
1. ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ.ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÅ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌÛ .................... 4
1.1. Êëàññèôèêàöèÿ è îñíîâíûå ýòàïû èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîñõåì ............ 4
2. ÏÐÈÍÖÈÏÛ ÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß ÑÒÐÓÊÒÓÐ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ ..................... 10
3. ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈÅ È Î×ÈÑÒÊÀ ÏËÀÑÒÈÍ È ÏÎÄËÎÆÅÊ ....................... 15
3.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ ..................................................................................... 15
3.2. Ìàðøðóòû èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí è ïîäëîæåê .................................... 23
3.3. Ýëåêòðîííàÿ ãèãèåíà ............................................................................. 26
3.4. Æèäêîñòíàÿ î÷èñòêà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí .......................................... 32
3.5. Ñóõàÿ î÷èñòêà è òðàâëåíèå .................................................................... 34
4. ÌÅÒÎÄÛ ÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß ÒÎÏÎËÎÃÈÈ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ ...................... 36
4.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ ..................................................................................... 36
4.2. Îïòè÷åñêàÿ ëèòîãðàôèÿ (ôîòîëèòîãðàôèÿ) ......................................... 40
5. ÌÅÒÎÄÛ ÏÎËÓ×ÅÍÈß ÒÎÍÊÈÕ ÏËÅÍÎÊ ................................................ 52
5.1. Òåðìîâàêóóìíîå íàïûëåíèå ................................................................ 52
5.2. Ðàñïûëåíèå èîííîé áîìáàðäèðîâêîé.................................................. 56
5.3. Òåðìè÷åñêîå îêñèäèðîâàíèå ................................................................ 61
5.4. Õèìè÷åñêîå îñàæäåíèå ïëåíîê èç ðàñòâîðîâ...................................... 64
6. ÌÅÒÎÄÛ ÏÎËÓ×ÅÍÈß ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÕ ÑËÎÅ È
ÏÅÐÅÕÎÄÎÂ ................................................................................................... 66
6.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ ..................................................................................... 66
6.2. Ýïèòàêñèÿ êðåìíèåâûõ ñëîåâ ............................................................... 70
6.3. Äèôôóçèîííîå ëåãèðîâàíèå................................................................. 75
6.4. Èîííîå ëåãèðîâàíèå .............................................................................. 80
7. ÒÈÏÎÂÛÅ ÌÀÐØÐÓÒÛ ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈß ÑÒÐÓÊÒÓÐ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ .. 85
7.1. Èçãîòîâëåíèå áèïîëÿðíûõ ñòðóêòóð..................................................... 85
7.2. Èçãîòîâëåíèå ÌÎÏ-ñòðóêòóð ................................................................ 87
7.3. Òèïîâûå ìàðøðóòû òåõíîëîãèè òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð .............. 90
7.4. Òèïîâîé ìàðøðóò òåõíîëîãèè òîëñòîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð................ 94
8. ÑÁÎÐÊÀ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ ................................................................................. 102
8.1. Ðàçäåëåíèå ïëàñòèí è ïîäëîæåê ............................................................ 102
8.2. Ìåòîäû ñáîðêè ...................................................................................... 106
8.3. Ìîíòàæ êðèñòàëëîâ è ïëàò .................................................................... 109
8.4. Ïîäñîåäèíåíèå ýëåêòðîäíûõ âûâîäîâ.................................................. 112
8.5. Ñáîðêà ÈÌ íà ëåíòî÷íûõ íîñèòåëÿõ .................................................... 113
8.6. Ãåðìåòèçàöèÿ ìèêðîñõåì â êîðïóñû .................................................... 114
8.7. Çàêëþ÷èòåëüíûå îïåðàöèè èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîñõåì ........................ 116
3àêëþ÷åíèå ......................................................................................................... 117
Áèáëèîãðàôè÷åñêèé ñïèñîê .............................................................................. 122
