Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 25 стр.

UptoLike

Составители: 

25
Ñèòàëëû ñòåêëîêðèñòàëëè÷åñêèå ìàòåðèàëû ñ âûñîêîé, â îòëè÷èå
îò ñòåêîë, ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòüþ è òåïëîïðîâîäíîñòüþ, õèìè÷åñ-
êè ñòîéêèå ê ùåëî÷àì è êèñëîòàì.  ñîñòàâå êåðàìèêè ïðèñóòñòâó-
þò êðèñòàëëè÷åñêàÿ, ñòåêëîâèäíàÿ è ãàçîâàÿ ôàçû (ãàçû â çàêðûòûõ
ïîðàõ). Âñå ýòè ìàòåðèàëû ñîîòâåòñòâåííî èõ ñòðóêòóðå íå íóæäà-
þòñÿ â êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèè. Êðîìå òîãî, ÷èñëî ìåõà-
íè÷åñêèõ îáðàáîòîê â òåõíîëîãè÷åñêèõ ìàðøðóòàõ èçãîòîâëåíèÿ ïîä-
ëîæåê ìåíüøå, ÷åì ïðè èçãîòîâëåíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èëè ñàïôè-
ðîâûõ ïëàñòèí, òàê êàê èñõîäíûì ìàòåðèàëîì ÿâëÿþòñÿ íå ñëèòêè, à
ëèñòîâûå çàãîòîâêè. Ïðîöåññ èçãîòîâëåíèÿ ïîäëîæåê óïðîùàåòñÿ åùå
è òåì, ÷òî äëÿ íèõ íåò íåîáõîäèìîñòè ïîëó÷àòü ôàñêó íà òîðöàõ.
Ðàññìîòðèì îñíîâíûå îïåðàöèè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà è èõ
íàçíà÷åíèå.
1. Îäíîñòîðîííåå øëèôîâàíèå áåç ïðèêëåèâàíèÿ âûïîëíÿåòñÿ äëÿ
óäàëåíèÿ îñíîâíîãî ïðèïóñêà ñèòàëëîâûõ çàãîòîâîê è ïîëó÷åíèÿ íà
äàííîì ýòàïå îáðàçöîâ çàäàííûõ òîëùèíû è ïëîñêîñòíîñòè.
2. Ñêëåèâàíèå çàãîòîâîê â ïàêåò äëÿ ãðóïïîâîé îáðàáîòêè íà ñëå-
äóþùåé îïåðàöèè.
3. Øëèôîâàíèå òîðöîâ çàãîòîâîê âûïîëíÿåòñÿ äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïîä-
ëîæåê çàäàííûõ ãàáàðèòíûõ ðàçìåðîâ ñ ïðÿìîóãîëüíûì ïðîôèëåì
ïåðèôåðèè.
4. Ðàñêëåèâàíèå ïàêåòà.
5. Êîíòðîëü ãàáàðèòíûõ ðàçìåðîâ ïîäëîæåê.
6. Íàêëåèâàíèå ïîäëîæåê íåðàáî÷åé ñòîðîíîé íà äèñêè-ñïóòíèêè
äëÿ ïîñëåäóþùèõ îïåðàöèé øëèôîâàíèÿ è ïîëèðîâàíèÿ.
7. Øëèôîâàíèå âûïîëíÿåòñÿ äëÿ óëó÷øåíèÿ êëàññà øåðîõîâàòîñ-
òè ïîâåðõíîñòè è ãåîìåòðèè ïîäëîæåê.
8. Ïîëèðîâàíèå âûïîëíÿåòñÿ äëÿ äîâåäåíèÿ ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòè
ïîäëîæåê äî çàäàííîãî êëàññà øåðîõîâàòîñòè.
9. Îòêëåèâàíèå ïîäëîæåê.
10. Î÷èñòêà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê äëÿ óäàëåíèÿ çàãðÿçíåíèé â
ïðîöåññàõ ìåõàíè÷åñêèõ îáðàáîòîê.
11. Êîíòðîëü ãîòîâûõ ïîäëîæåê íà ñîîòâåòñòâèå ãåîìåòðè÷åñêèõ
(äëèíà, øèðèíà, òîëùèíà ïîäëîæåê, íåïåðïåíäèêóëÿðíîñòü òîðöåâ),
ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ è êà÷åñòâà ïîâåðõíîñòè (øåðîõîâà-
òîñòü ðàáî÷åé è îáðàòíîé ñòîðîí, ñîîòâåòñòâèå îáðàçöàì âíåøíåãî
âèäà ïî íàëè÷èþ òðåùèí, ñêîëîâ, öàðàïèí, ðàêîâèí, ïÿòåí, ïîð, êà÷å-