Составители:
Рубрика:
23
î÷èñòêè. Êðîìå òîãî, ïðîöåññû ñóõîé î÷èñòêè áîëåå óïðàâëÿåìû è ëåã-
÷å ïîääàþòñÿ àâòîìàòèçàöèè.
Ñ òî÷êè çðåíèÿ ìåõàíèçìà ïðîöåññîâ âñå ìåòîäû î÷èñòêè ìîæíî
óñëîâíî ðàçäåëèòü íà ôèçè÷åñêèå è õèìè÷åñêèå.
Ïðè ôèçè÷åñêèõ ìåòîäàõ çàãðÿçíåíèÿ óäàëÿþòñÿ ïðîñòûì ðàñòâî-
ðåíèåì, îòæèãîì, îáðàáîòêîé ïîâåðõíîñòè óñêîðåííûìè äî áîëüøèõ
ýíåðãèé èîíàìè èíåðòíûõ ãàçîâ.  òåõ ñëó÷àÿõ, êîãäà çàãðÿçíåíèÿ íåëüçÿ
óäàëèòü ôèçè÷åñêèìè ìåòîäàìè, ïðèìåíÿþò õèìè÷åñêèå ìåòîäû, ïðè
êîòîðûõ çàãðÿçíåíèÿ óäàëÿþò èõ çàìåùåíèåì, ëåãêî óäàëÿåìûìè âå-
ùåñòâàìè, ïåðåâîäîì â ëåãêî ðàñòâîðèìûå êîìïëåêñíûå ñîåäèíåíèÿ
èëè òðàâëåíèåì ïëàñòèí (ïîäëîæåê). Òðàâëåíèå ñîïðîâîæäàåòñÿ óäàëå-
íèåì ïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ âìåñòå ñ èìåþùèìèñÿ íà ïîâåðõíîñòè çàã-
ðÿçíåíèÿìè.
 òåõíîëîãèè ìèêðîñõåì òðàâëåíèå íå âñåãäà èìååò öåëüþ î÷èñòêó.
Îíî ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ ðàçìåðíîé îáðàáîòêè, óäàëåíèÿ ñëîÿ ñ íàðóøåí-
íîé ìåõàíè÷åñêèìè îáðàáîòêàìè ñòðóêòóðû, ëîêàëüíîãî óäàëåíèÿ ñëî-
åâ ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ ïðè ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè ìèêðîñõåì, âû-
ÿâëåíèÿ ïîâåðõíîñòíûõ äåôåêòîâ ïîëóïðîâîäíèêîâ è äð.
3.2. Ìàðøðóòû èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí è ïîäëîæåê
Ìàðøðóò èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí êðåìíèÿ. Ïåðå÷èñëèì îïåðàöèè
ìàðøðóòíîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà è îòìåòèì íàçíà÷åíèå íåêî-
òîðûõ èç íèõ.
1. Òðàâëåíèå ñëèòêà ïðîâîäèòñÿ äëÿ î÷èñòêè ïîâåðõíîñòè è âûÿâëå-
íèÿ äåôåêòîâ. Êàëèáðîâêà âûïîëíÿåòñÿ äëÿ ïðèäàíèÿ ñëèòêó ñòðîãî
öèëèíäðè÷åñêîé ôîðìû ñ äèàìåòðîì, ðàâíûì äèàìåòðó ñòàíäàðòíûõ
ïëàñòèí, íà êîòîðûå ðàññ÷èòàíî ïðèìåíÿåìîå â ïðîèçâîäñòâå îáîðóäî-
âàíèå. Òðàâëåíèå ñëèòêà íåîáõîäèìî äëÿ óäàëåíèÿ ñëîÿ ñ íàðóøåííîé â
ïðîöåññå êàëèáðîâêè ñòðóêòóðîé êðèñòàëëà.
2. Îðèåíòàöèÿ òîðöà ñëèòêà îïðåäåëåíèå ðàçîðèåíòàöèè (óãëà îò-
êëîíåíèÿ) ïëîñêîñòè òîðöà ñëèòêà îò ãëàâíîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé
ïëîñêîñòè. Ýòî íåîáõîäèìî, ÷òîáû ïåðåä ðåçêîé íà ïëàñòèíû ñëèòîê
çàêðåïèòü â ñòàíêå îòíîñèòåëüíî ðåæóùåãî èíñòðóìåíòà ñ ó÷åòîì ýòîé
ðàçîðèåíòàöèè. Òîãäà ïîâåðõíîñòè âñåõ îòðåçàåìûõ ïëàñòèí áóäóò îäè-
íàêîâî îðèåíòèðîâàíû, ò. å. èñêëþ÷èòñÿ èëè ñâåäåòñÿ ê ìèíèìóìó ðàç-
áðîñ ïàðàìåòðîâ ìèêðîñõåì, ñâÿçàííûé ñ àíèçîòðîïèåé ñâîéñòâ ïîëó-
ïðîâîäíèêà.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 21
- 22
- 23
- 24
- 25
- …
- следующая ›
- последняя »
