Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 21 стр.

UptoLike

Составители: 

21
Îáðàáîòêà ñâîáîäíûì àáðàçèâîì, ò. å. àáðàçèâíûì ïîðîøêîì â
ñîñòàâå ñóñïåíçèè èëè ïàñòû, âûïîëíÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ ðåæóùèõ äèñ-
êîâ, ïîëîòåí, øëèôîâàëüíûõ êðóãîâ, êîòîðûå ïðè äâèæåíèè ñ áîëüøîé
ñêîðîñòüþ ñîîáùàþò çåðíàì àáðàçèâà ýíåðãèþ. Ïîñëåäíèå, óäàðÿÿñü î
ïîâåðõíîñòü îáðàáàòûâàåìîãî ìàòåðèàëà, ïðîèçâîäÿò ëîêàëüíûå ìèê-
ðîðàçðóøåíèÿ. Âûêðîøèâøèåñÿ ÷àñòèöû óäàëÿþòñÿ èç çîíû îáðàáîòêè
æèäêîé ÷àñòüþ ñóñïåíçèè.
Îáðàáîòêà ñâÿçàííûì àáðàçèâîì ïðîèçâîäèòñÿ èíñòðóìåíòîì (äèñ-
êîì, êðóãîì) ñ çàêðåïëåííûìè íà åãî ðàáî÷åé ÷àñòè ñ ïîìîùüþ ñïåöè-
àëüíîé ñâÿçêè çåðíàìè àáðàçèâà, ãëàâíûì îáðàçîì àëìàçà. Ñòîéêîñòü
äèñêîâ è êðóãîâ çàâèñèò îò èõ ãàáàðèòíûõ ðàçìåðîâ, òèïà àëìàçíîãî
ïîðîøêà, åãî êîíöåíòðàöèè è ðåæèìîâ îáðàáîòêè. Ñâÿçêà, çàêðåïëÿþ-
ùàÿ àëìàçíûå çåðíà íà ðåæóùåé ÷àñòè, äîëæíà îáåñïå÷èâàòü ñàìîçà-
òà÷èâàíèå èíñòðóìåíòîâ, ò. å. îíà äîëæíà óäåðæèâàòü àëìàçíûå çåðíà è
â òî æå âðåìÿ íå ìåøàòü óäàëåíèþ èç àëìàçîñîäåðæàùåãî ñëîÿ çàòó-
ïèâøèõñÿ çåðåí. Äëÿ óäàëåíèÿ ÷àñòèö ðàçðóøåííîãî ìàòåðèàëà ïðè îá-
ðàáîòêå ñâÿçàííûì àáðàçèâîì ïðèìåíÿþò ñïåöèàëüíûå ñìàçûâàþùå-
îõëàæäàþùèå æèäêîñòè, ñîñòîÿùèå èç âîäû, ïîâåðõíîñòíî-àêòèâíîãî
âåùåñòâà, ñìàçûâàþùåãî âåùåñòâà è çàìåäëèòåëÿ êîððîçèè ìåòàëëè-
÷åñêèõ äåòàëåé îáîðóäîâàíèÿ.Çàãðÿçíåíèÿ íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí è
ïîäëîæåê óäåðæèâàþòñÿ âñëåäñòâèå àäñîðáöèè.
Ôèçè÷åñêàÿ àäñîðáöèÿ ðåçóëüòàò ìåæìîëåêóëÿðíîãî (ñèëû Âàí-
äåð-Âààëüñà) è ýëåêòðîñòàòè÷åñêîãî êóëîíîâñêîãî âçàèìîäåéñòâèÿ.
Àäñîðáèðîâàííûå ÷àñòèöû, ñîâåðøàÿ òåïëîâûå äâèæåíèÿ, ìîãóò ïðå-
îäîëåòü ñèëû ñâÿçè è îòîðâàòüñÿ (äåñîðáöèÿ) îò ïîâåðõíîñòè, ò. å. ôè-
çè÷åñêàÿ àäñîðáöèÿ ïðîöåññ îáðàòèìûé. Ôèçè÷åñêè àäñîðáèðîâàííûå
çàãðÿçíåíèÿ ðàñïîëàãàþòñÿ íà ïîâåðõíîñòè â íåñêîëüêî ñëîåâ è ñðàâíè-
òåëüíî ëåãêî óäàëÿþòñÿ ÷èñòûì ðàñòâîðèòåëåì, îòæèãîì (èñïàðåíèåì)
â âàêóóìå.
Õèìè÷åñêàÿ àäñîðáöèÿ íåîáðàòèìûé ïðîöåññ, òàê êàê ìåæäó çàã-
ðÿçíåíèÿìè è ïîâåðõíîñòüþ îáðàçóþòñÿ ïðî÷íûå õèìè÷åñêèå ñâÿçè.
Çàãðÿçíåíèÿ çàêðåïëÿþòñÿ òîëüêî îäíèì ñëîåì (ìîíîñëîé), óäàëåíèå
èõ áîëåå ñëîæíî.
Èñòî÷íèêè çàãðÿçíåíèé íå òîëüêî îïåðàòîðû, âîçäóõ ïðîèçâîä-
ñòâåííûõ ïîìåùåíèé, îñíàñòêà, òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå, íî è ñàìè
òåõíîëîãè÷åñêèå îáðàáîòêè. Ýòèì îáúÿñíÿåòñÿ ìíîãîêðàòíîñòü îïåðà-
öèé î÷èñòêè. Ñòåïåíü è ñîñòàâ çàãðÿçíåíèé ðàçëè÷íû ïðè ðàçíûõ îá-