Составители:
Рубрика:
19
òåëüíóþ øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè. Ãëàçóðîâàíèå ñëîåì áåçùåëî÷-
íîãî ñòåêëà äëÿ óìåíüøåíèÿ øåðîõîâàòîñòè ñóùåñòâåííî óìåíüøàåò
òåïëîïðîâîäíîñòü êåðàìèêè. Äëÿ òîëñòîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ïðèìåíÿ-
þò òàêæå ïîëèêîð è áåðèëëèåâóþ êåðàìèêó.
Ãèáêèå ïîäëîæêè èç ïîëèìåðà (ïîëèèìèäà) îòëè÷àþòñÿ âîçìîæíîñ-
òüþ äâóõñòîðîííåãî íàíåñåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê. Îíè ñïîñîáíû ïðèíèìàòü
ðàçëè÷íóþ ôîðìó ïðè ãåðìåòèçàöèè ìèêðîñõåì, èìåþò ðÿä äðóãèõ ïðå-
èìóùåñòâ. Ïåðñïåêòèâíûìè ñ÷èòàþò ìåòàëëîäèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæ-
êè. Äëÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð: àëþìèíèåâàÿ îñíîâà ñ ïîêðûòèåì èç
îêñèäà àëþìèíèÿ. Äëÿ òîëñòîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð: îñíîâà èç æàðîñòîé-
êèõ ñòàëåé 20Õ13, 15Õ25Ò èëè òèòàíà ñ ïîêðûòèåì (501080 ìêì) èç
ñòåêëà ñèñòåìû BaO MgO B
2
O
3
SiO
2
. Òàêèå ïîäëîæêè èìåþò
íèçêóþ ñòîèìîñòü, îáëàäàþò õîðîøåé òåïëîïðîâîäíîñòüþ, óñòîé÷èâî-
ñòüþ ê ìåõàíè÷åñêèì è òåðìè÷åñêèì âîçäåéñòâèÿì. Ìèêðîñõåìû, èç-
ãîòîâëåííûå íà íèõ, ìîãóò ðàáîòàòü â óñëîâèÿõ, êîòîðûå íåïðèåìëåìû
äëÿ äðóãèõ ïîäëîæåê.
Òðåáîâàíèÿ ê ãåîìåòðè÷åñêèì ïàðàìåòðàì è êà÷åñòâó ïîâåðõíîñòè
äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîäëîæåê â ïðèíöèïå àíàëîãè÷íû òðåáîâàíèÿì ê ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûì ïëàñòèíàì è îòëè÷àþòñÿ ëèøü çíà÷åíèÿìè íåêîòî-
ðûõ óñòàíîâëåííûõ íîðì è äîïóñêîâ. Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû äèýëåêòðè-
÷åñêèõ ïîäëîæåê ñòàíäàðòèçîâàíû, äëÿ áîëüøèíñòâà ìàòåðèàëîâ îíè
ñîñòàâëÿþò 48 × 60 ìì, ïðè òîëùèíå îò 0,5 äî 1,6 ìì. Íà ýòè ðàçìåðû
îðèåíòèðîâàíî òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå è íîðìàëèçîâàííûé ðÿä
òèïîðàçìåðîâ ïëàò ìèêðîñõåì. Íåïàðàëëåëüíîñòü ñòîðîí íå ïðåâûøà-
åò 0,05 ìì. Äëÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ñ òîëùèíîé ïëåíîê äî 100 íì
äîïóñòèìàÿ âûñîòà ìèêðîíåðîâíîñòåé R
z
< 25 íì, ÷òî ñîîòâåòñòâóåò
14-ìó êëàññó øåðîõîâàòîñòè ïîâåðõíîñòè. Ïîäëîæêè äëÿ òîëñòîïëåíî÷-
íûõ ñòðóêòóð ìîãóò èìåòü ìèêðîíåðîâíîñòè âûñîòîé äî 2 ìêì, ò. å.
êëàññ øåðîõîâàòîñòè ïîâåðõíîñòè äîëæåí áûòü íå íèæå 8; ïîäëîæêè
ðàçìåðîì áîëåå 60 × 48 ìì íå ïðèìåíÿþò èç-çà êîðîáëåíèÿ ïðè òåðìî-
îáðàáîòêå ïàñò.
Îñîáîå ìåñòî ñðåäè äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîäëîæåê çàíèìàþò ïîäëîæ-
êè èç ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî êîðóíäà, íàçûâàåìîãî ñàïôèðîì. Ñàïôèð
îáëàäàåò âûñîêèìè èçîëÿöèîííûìè ñâîéñòâàìè. Íà ïîâåðõíîñòè ñàï-
ôèðà ìîæíî íàðàùèâàòü ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå ñëîè êðåìíèÿ è íà ïîëó-
÷åííûõ ñòðóêòóðàõ êðåìíèé íà ñàïôèðå (ÊÍÑ) èçãîòàâëèâàòü ìèêðî-
ñõåìû, îòëè÷àþùèåñÿ õîðîøåé èçîëÿöèåé ýëåìåíòîâ äðóã îò äðóãà.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 17
- 18
- 19
- 20
- 21
- …
- следующая ›
- последняя »
