Составители:
Рубрика:
18
öåíòðàöèþ ïðèìåñåé, íå ïðåïÿòñòâóþùóþ âîñïðîèçâîäèìîìó ïîëó÷å-
íèþ çàäàííûõ çíà÷åíèé è ñòàáèëüíîñòè ïàðàìåòðîâ ìèêðîñõåì. Íîìè-
íàëüíûå çíà÷åíèÿ ïàðàìåòðîâ ïëàñòèí è äîïóñòèìûõ îòêëîíåíèé ðåãëà-
ìåíòèðîâàíû òåõíè÷åñêîé äîêóìåíòàöèåé äëÿ êàæäîãî êîíêðåòíîãî ñëó-
÷àÿ.
Ïîäëîæêè ãèáðèäíûõ è ïëåíî÷íûõ ìèêðîñõåì íå ÿâëÿþòñÿ ñî-
ñòàâíîé ÷àñòüþ ýëåìåíòîâ, îíè âûïîëíÿþò êîíñòðóêòèâíóþ ðîëü ïîä-
äåðæèâàþùåãî ïëåíî÷íûå è íàâåñíûå ýëåìåíòû îñíîâàíèÿ, à òàêæå
ñëóæàò äëÿ ýëåêòðè÷åñêîé èçîëÿöèè ýëåìåíòîâ è ìåæýëåìåíòíûõ ñî-
åäèíåíèé. Ïðåæäå âñåãî, îíè äîëæíû îáëàäàòü õîðîøèìè èçîëÿöèîííû-
ìè è ìåõàíè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè. Ïîäëîæêè èçãîòàâëèâàþò èç äèýëåê-
òðè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ ñ âûñîêèì óäåëüíûì ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèåì,
íèçêèìè äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíèöàåìîñòüþ è òàíãåíñîì óãëà äèýëåêò-
ðè÷åñêèõ ïîòåðü, âûñîêîé ýëåêòðè÷åñêîé, à òàêæå ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷-
íîñòüþ. Äëÿ ýôôåêòèâíîé ïåðåäà÷è òåïëà îò ýëåìåíòîâ ìàòåðèàë ïîä-
ëîæåê äîëæåí èìåòü âûñîêóþ òåïëîïðîâîäíîñòü. Íåîáõîäèìî, ÷òîáû
ìàòåðèàë ïîäëîæåê áûë ñîâìåñòèì ñ ìàòåðèàëàìè íàíîñèìûõ ïëåíîê.
Ìàòåðèàëû ñ÷èòàþòñÿ ñîâìåñòèìûìè, åñëè â ïðîöåññå òåõíîëîãè÷åñ-
êèõ îïåðàöèé, ïðè õðàíåíèè è ýêñïëóàòàöèè ãîòîâûõ ìèêðîñõåì îíè íå
âñòóïàþò â íåæåëàòåëüíûå âçàèìîäåéñòâèÿ äðóã ñ äðóãîì èëè ñ îêðó-
æàþùåé ñðåäîé.
Ìàòåðèàë ïîäëîæåê äîëæåí áûòü ñòîéêèì ê òåõíîëîãè÷åñêèì îáðà-
áîòêàì, íåîáõîäèìûì äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ìèêðîñõåì, íå óõóä-
øàòü êà÷åñòâî ïðîâåäåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà: íå âûäåëÿòü ãàçû
ïðè íàíåñåíèè ïëåíîê â âàêóóìå, áûòü èíåðòíûì ê òðàâèòåëÿì, ïðèìå-
íÿåìûì ïðè ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè è ñòðóêòóð, òåðìîñòîéêèì è äð.
Èäåàëüíûõ ìàòåðèàëîâ, óäîâëåòâîðÿþùèõ âñåì ïðåäúÿâëÿåìûì
òðåáîâàíèÿì, íå ñóùåñòâóåò. Â íàèáîëüøåé ñòåïåíè îñíîâíûì òðåáî-
âàíèÿì îòâå÷àþò ïîäëîæêè èç ñòåêëà, ñèòàëëîâ, êåðàìèêè, ïîëèèìèäà.
Îñíîâíûå íåäîñòàòêè ïîäëîæåê èç ñòåêëà: íèçêèå òåïëîïðîâîäíîñòü
è ìåõàíè÷åñêàÿ ïðî÷íîñòü. Ïîäëîæêè èç êåðàìèêè èìåþò ñðàâíèòåëü-
íî áîëüøóþ øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè, ê êîòîðîé ÷óâñòâèòåëüíû ïà-
ðàìåòðû òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ, êîíäåíñàòîðîâ è ìåæýëåìåíòíûõ
ñîåäèíåíèé. Äëÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ïðèìåíÿþò â ïîðÿäêå âîçðà-
ñòàíèÿ ìîùíîñòè ìèêðîñõåì: ñòåêëà Ñ41-1, Ñ48-3, ñèòàëëû è êåðàìèêó
(ïîëèêîð, áåðèëëèåâóþ). Âûñîêîãëèíîçåìèñòóþ êåðàìèêó 22ÕÑ ïðèìå-
íÿþò òîëüêî äëÿ òîëñòîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð, òàê êàê îíà èìååò çíà÷è-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 16
- 17
- 18
- 19
- 20
- …
- следующая ›
- последняя »
