Составители:
Рубрика:
17
Ëèíèÿ âûñò
ó
ïîâ
Ëèíèÿ âïàäèí
H
1max
H
5max
H
1min
H
5min
y
1
y
n
l
Ðèñ. 6 . Ïðîôèëü øåðîõîâàòîé ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè
Øåðîõîâàòîñòü (ðèñ. 6) ìîæåò îöåíèâàòüñÿ ñðåäíèì àðèôìåòè-
÷åñêèì îòêëîíåíèåì ïðîôèëÿ R
a
, ò.å. ñðåäíèì àðèôìåòè÷åñêèì àáñî-
ëþòíûõ çíà÷åíèé îòêëîíåíèé ïðîôèëÿ â ïðåäåëàõ áàçîâîé äëèíû l
1
1
=
=
∑
n
ai
i
Ry
n
èëè âûñîòîé íåðîâíîñòåé ïðîôèëÿ R
z
ïî äåñÿòè òî÷êàì:
55
max min
11
1
.
5
zii
ii
RHH
==
=−
∑∑
 çàâèñèìîñòè îò çíà÷åíèé ïàðàìåòðîâ R
a
è R
z
êà÷åñòâî îáðàáîòêè
ïîâåðõíîñòè îöåíèâàåòñÿ ñîîòâåòñòâóþùèì êëàññîì øåðîõîâàòîñòè.
Øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ äîëæ-
íà áûòü íå íèæå 1314-ãî êëàññîâ, ÷òî ñîîòâåòñòâóåò âûñîòå ìèêðîíå-
ðîâíîñòåé îò 0,100 äî 0,025 ìêì.
Êà÷åñòâî î÷èñòêè ïëàñòèí îöåíèâàåòñÿ: íàëè÷èåì ìåõàíè÷åñêèõ è
õèìè÷åñêè ñâÿçàííûõ ñ ïîâåðõíîñòüþ çàãðÿçíåíèé; êîëè÷åñòâîì àäñîð-
áèðîâàííûõ àòîìîâ, èîíîâ ïðèìåñè, ïðèõîäÿùèõñÿ íà åäèíèöó ïëîùàäè
ïîâåðõíîñòè ïëàñòèíû, èëè ÷èñëîì ìîíîñëîåâ àäñîðáèðîâàííûõ ïðè-
ìåñíûõ ìîëåêóë. Èäåàëüíî ÷èñòóþ ïîâåðõíîñòü â óñëîâèÿõ ïðîèçâîä-
ñòâà ìèêðîñõåì ïîëó÷èòü íåëüçÿ, òàê êàê ïîëíîñòüþ çàùèòèòü ïëàñòè-
íû îò àäñîðáöèè ïðèìåñåé íåâîçìîæíî. Ïîä ÷èñòîé ïîâåðõíîñòüþ ïîä-
ðàçóìåâàþò òåõíîëîãè÷åñêè ÷èñòóþ ïîâåðõíîñòü, êîòîðàÿ èìååò êîí-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 15
- 16
- 17
- 18
- 19
- …
- следующая ›
- последняя »
