Составители:
Рубрика:
15
3. ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈÅ È Î×ÈÑÒÊÀ ÏËÀÑÒÈÍ È
ÏÎÄËÎÆÅÊ
3.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ
Òðåáîâàíèÿ ê ïëàñòèíàì è ïîäëîæêàì. Òåõíîëîãèÿ ñîâðåìåííûõ
ìèêðîñõåì ïðåäúÿâëÿåò æåñòêèå òðåáîâàíèÿ ê çàãîòîâêàì ïîä ñòðóê-
òóðû ìèêðîñõåì, è îñîáåííî, ê ïîëóïðîâîäíèêîâûì ïëàñòèíàì. Ýòè òðå-
áîâàíèÿ îòíîñÿòñÿ ê ýëåêòðîôèçè÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì ïîëóïðîâîä-
íèêà, à òàêæå ê ãåîìåòðè÷åñêèì ïàðàìåòðàì è êà÷åñòâó ïîâåðõíîñòè
ïëàñòèí.
Ýëåêòðîôèçè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîëóïðî-
âîäíèêîâûõ ïëàñòèí è èõ êðèñòàëëîãðàôè÷åñêàÿ îðèåíòàöèÿ äîëæíû
îáåñïå÷èâàòü ïîëó÷åíèå ìèêðîñõåì ñ çàäàííûìè ñâîéñòâàìè. Èñõîäÿ
èç ýòîãî, íà ýòàïå ïðîåêòèðîâàíèÿ âûáèðàþò íåîáõîäèìóþ îðèåíòàöèþ
è ìàðêó ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ìàòåðèàëà, à â ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ ïëà-
ñòèí âûïîëíÿþò êîíòðîëü êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèè è îñíîâ-
íûõ ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ.  ñëó÷àå íåîáõîäèìîñòè ïëàñòè-
íû êëàññèôèöèðóþò ïî çíà÷åíèÿì ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ.
Îñíîâíûå ãåîìåòðè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïëàñòèí: äèàìåòð è òîë-
ùèíà.
Äèàìåòð ïëàñòèí îïðåäåëÿåòñÿ ðàçìåðàìè ïîëóïðîâîäíèêîâîãî
ñëèòêà. Ñòàíäàðòíûìè äèàìåòðàìè íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííûõ ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ ÿâëÿþòñÿ 60, 76 è 100 ìì. Íà ïëàñòèíàõ áîëüøåãî äèàìåò-
ðà ìîæíî èçãîòîâèòü áîëüøåå êîëè÷åñòâî êðèñòàëëîâ ìèêðîñõåì
(òàáë.1).
Òîëùèíà ïëàñòèí îïðåäåëÿåòñÿ íå òîëüêî èõ ñòîéêîñòüþ ê ìåõàíè-
÷åñêèì íàãðóçêàì ïðè ìàíèïóëèðîâàíèè â òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññàõ,
íî è ñïîñîáíîñòüþ ñîõðàíÿòü ôîðìó. Ñ óâåëè÷åíèåì äèàìåòðà áåç èç-
ìåíåíèÿ òîëùèíû ïëàñòèíû ïðè ïîñëåäóþùèõ òåðìè÷åñêèõ îáðàáîò-
êàõ óâåëè÷èâàþòñÿ êðàåâûå ñêîëû. Ó ïëàñòèí áîëüøîãî äèàìåòðà ïî-
ýòîìó íåîáõîäèìî óâåëè÷èâàòü òîëùèíó, à ýòî óäîðîæàåò åäèíèöó ïëî-
ùàäè ïëàñòèí.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 13
- 14
- 15
- 16
- 17
- …
- следующая ›
- последняя »
