Составители:
Рубрика:
14
êàëüíûå îáðàáîòêè ïðîâîäÿò ïÿòü ðàç. Ðîëü êîíòàêòíîé ìàñêè êàæäûé
ðàç âûïîëíÿåò ïëåíêà äèîêñèäà êðåìíèÿ ñ îêíàìè, ñîîòâåòñòâóþùèìè
òîïîëîãèè ôîðìèðóåìîãî ñëîÿ. ×èñëî òàêèõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îáðàáî-
òîê ðàâíî ÷èñëó òîïîëîãè÷åñêèõ ÷åðòåæåé íà äàííóþ ÈÌ. Ïðè èçãîòîâ-
ëåíèè òîíêîïëåíî÷íûõ ÈÌ èëè ïàññèâíîé ÷àñòè òîíêîïëåíî÷íûõ ÃÈÌ
ýëåìåíòû òàêæå ôîðìèðóþò ïîñëîéíî ñíà÷àëà ðåçèñòîðû, ïðîâîäíè-
êè, êîíòàêòíûå ïëîùàäêè, íèæíèå îáêëàäêè êîíäåíñàòîðîâ, çàòåì äèý-
ëåêòðèê êîíäåíñàòîðîâ è ïîñëå ýòîãî âåðõíèå îáêëàäêè êîíäåíñàòîðîâ.
Ïîñëîéíî òàêæå ôîðìèðóþò è òîëñòîïëåíî÷íûå ñòðóêòóðû.
Íåîáõîäèìûì óñëîâèåì ïðè ñîáëþäåíèè ïðèíöèïà ïîñëîéíîñòè ÿâ-
ëÿåòñÿ òî÷íîå ñîâìåùåíèå êàæäîãî ïîñëåäóþùåãî òåõíîëîãè÷åñêîãî
ñëîÿ ñ ïðåäûäóùèì.
Íà ïðàêòèêå ïðè ìàñî÷íîé òåõíîëîãèè ñîâìåùåíèå ñëîåâ îáåñïå÷è-
âàåòñÿ íàëè÷èåì êîìïëåêòà ñîâìåùåííûõ äðóã ñ äðóãîì ñâîáîäíûõ
ìàñîê ëèáî êîìïëåêòà ñîâìåùåííûõ øàáëîíîâ, ñ ïîìîùüþ êîòîðûõ íà
ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí èëè ïîäëîæåê ôîðìèðóþò êîíòàêòíûå ìàñêè. Â
ïîñëåäíåì ñëó÷àå ðèñóíîê êàæäîãî ïîñëåäóþùåãî ñëîÿ (øàáëîíà) ñî-
âìåùàåòñÿ ñ ðèñóíêîì ïðåäûäóùåãî ñëîÿ (íà ïëàñòèíå) ñ ïîìîùüþ
ñïåöèàëüíûõ ìåòîê ñîâìåùåíèÿ.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 12
- 13
- 14
- 15
- 16
- …
- следующая ›
- последняя »
