Составители:
Рубрика:
12
Ìàñî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ
Ìåòîä ñâîáîäíîé ìàñêè
Ìåòîä êîíòàêòíîé ìàñêè
Áåçìàñî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ
Ýëåêòðîííûé ë
ó
÷
Èîííûé ë
ó
÷
Ëàçåðíûé ë
ó
÷
Ðèñ. 3. Ìåòîäû ëîêàëèçàöèè òåõíîëîãè÷åñêèõ îáðàáîòîê
ïðè èçãîòîâëåíèè ñòðóêòóð ÈÌ
Ìàñî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ îñíîâàíà íà ýêðàíèðîâàíèè íóæíûõ ó÷àñòêîâ
ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí (ïîäëîæåê) ñ ïîìîùüþ ñâîáîäíûõ èëè êîíòàêò-
íûõ ìàñîê. Ñâîáîäíûå èëè, èíà÷å, ñúåìíûå ìàñêè ïðèìåíÿþòñÿ ïðè
ôîðìèðîâàíèè òîíêî- è òîëñòîïëåíî÷íûõ ìèêðîñõåì, ýëåìåíòîâ ãèáðèä-
íûõ è ïëåíî÷íûõ ÈÌ.  òîëñòîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè èõ ïî òðàäèöèè
îáû÷íî íàçûâàþò òðàôàðåòàìè.
Ñâîáîäíàÿ ìàñêà ïëàñòèíà ñ îòâåðñòèÿìè, êîíôèãóðàöèè, ðàçìå-
ðû è âçàèìíîå ðàñïîëîæåíèå êîòîðûõ ñîîòâåòñòâóþò òîïîëîãè÷åñêîìó
÷åðòåæó ôîðìèðóåìîãî ïëåíî÷íîãî ñëîÿ. Ñâîáîäíûå ìàñêè èçãîòàâëè-
âàþòñÿ â ñàìîñòîÿòåëüíîì òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå (âñïîìîãàòåëü-
íîå ïðîèçâîäñòâî) è ÿâëÿþòñÿ òåõíîëîãè÷åñêèì èíñòðóìåíòîì ìíîãî-
ðàçîâîãî èñïîëüçîâàíèÿ. Èõ ìîæíî çàêðåïëÿòü, ïðèâîäÿ â êîíòàêò ñ ïî-
âåðõíîñòüþ ïîäëîæåê, à ïîñëå íàíåñåíèÿ ïëåíîê ñíèìàòü è çàòåì ñíîâà
èñïîëüçîâàòü. Òîëùèíà ñâîáîäíûõ ìàñîê îêîëî 80100 ìêì.
Êîíòàêòíûå ìàñêè óíèâåðñàëüíû, èõ ìîæíî ïðèìåíÿòü â ïðîöåñ-
ñàõ èçãîòîâëåíèÿ ëþáûõ ìèêðîñõåì, ïðåöèçèîííûõ ñâîáîäíûõ ìàñîê,
âûâîäíûõ ðàìîê (ëåíò) è äð. Êîíòàêòíàÿ ìàñêà â âèäå ïëåíêè ñ îòâåð-
ñòèÿìè ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ îäíîêðàòíîãî èñïîëüçîâàíèÿ.
Êîíòàêòíàÿ ìàñêà èçãîòàâëèâàåòñÿ íåïîñðåäñòâåííî íà ïîäëîæêå èëè
ïëàñòèíå è óäåðæèâàåòñÿ íà åå ïîâåðõíîñòè ñèëàìè àäãåçèîííîãî ñöåï-
ëåíèÿ. Òîëùèíà êîíòàêòíûõ ìàñîê îò äåñÿòûõ äîëåé äî åäèíèö ìèê-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 10
- 11
- 12
- 13
- 14
- …
- следующая ›
- последняя »
