Составители:
Рубрика:
11
èçãîòàâëèâàþò íå â îòäåëüíîì òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå, à â åäèíîì
ñî âñåìè äðóãèìè ýëåìåíòàìè. Äëÿ ìèêðîñõåìû èìååì äåëî íå òîëü-
êî ñ êîíñòðóêòèâíîé, íî è ñ òåõíîëîãè÷åñêîé èíòåãðàöèåé, ïðè êîòîðîé â
îäíîì òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå îäíîâðåìåííî èçãîòàâëèâàþòñÿ ðàç-
ëè÷íûå ýëåìåíòû (íàïðèìåð, òðàíçèñòîðû, äèîäû, ðåçèñòîðû, êîíäåí-
ñàòîðû). Èìåííî ïîýòîìó ïðè âûáîðå òèïîâ è êîíñòðóêöèè ýëåìåíòîâ,
âõîäÿùèõ â ñîñòàâ ìèêðîñõåìû, íåîáõîäèìî îöåíèòü ïðàêòè÷åñêóþ
âîçìîæíîñòü èõ ñîâìåñòíîãî ôîðìèðîâàíèÿ â åäèíîì òåõíîëîãè÷åñêîì
ïðîöåññå. Êðîìå òîãî, ïðè ïðîåêòèðîâàíèè íåîáõîäèìî ó÷åñòü, ÷òî äëÿ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìèêðîñõåì ïàðàìåòðû ýëåìåíòîâ òàêæå âçàèìîçà-
âèñèìû è îïðåäåëÿþòñÿ ñâîéñòâàìè è ïàðàìåòðàìè ìàòåðèàëà ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí, íà êîòîðûõ èçãîòàâëèâàåòñÿ ìèêðîñõåìà.
Äëÿ ïðàêòè÷åñêîãî îñóùåñòâëåíèÿ ïðèíöèïà ñîâìåñòèìîñòè ýëåìåí-
òîâ çà îñíîâó áåðóò ñàìûé ñëîæíûé ýëåìåíò (òðàíçèñòîð). Êîíñòðóê-
öèè äðóãèõ ýëåìåíòîâ ñîñòàâëÿþòñÿ òîëüêî èç òàêèõ îáëàñòåé, êàê è òå,
íà îñíîâå êîòîðûõ ïîñòðîåí òðàíçèñòîð. Õàðàêòåð òåõíîëîãè÷åñêèõ îá-
ðàáîòîê è èõ ïîñëåäîâàòåëüíîñòü îïðåäåëÿþòñÿ êîíñòðóêöèåé òðàíçèñ-
òîðà. Òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîñõåìû ïðîåêòèðóåòñÿ òàê, ÷òî ïî-
ïóòíî îäíîâðåìåííî ñ òðàíçèñòîðàìè ôîðìèðóþòñÿ âñå îñòàëüíûå ýëå-
ìåíòû. Íàïðèìåð, â áèïîëÿðíûõ ìèêðîñõåìàõ ðåçèñòîðû ïîëó÷àþòñÿ
îäíîâðåìåííî ñ ïîëó÷åíèåì áàçîâûõ îáëàñòåé òðàíçèñòîðîâ, êîíäåíñà-
òîðàìè ìîãóò ÿâëÿòüñÿ îáðàòíîñìåùåííûå ð-n-ïåðåõîäû. Íàðóøåíèå
ïðèíöèïà ñîâìåñòèìîñòè ýëåìåíòîâ ïðèâîäèò ê òåõíîëîãè÷åñêîé íåâîç-
ìîæíîñòè ñîçäàíèÿ ìèêðîñõåìû èëè ê íåîáõîäèìîñòè ââåäåíèÿ â òåõ-
íîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ äîïîëíèòåëüíûõ îïåðàöèé.
Ïðèíöèï ëîêàëüíîñòè òåõíîëîãè÷åñêèõ îáðàáîòîê îáîçíà÷àåò òî,
÷òî ïðè îäíîâðåìåííîì ôîðìèðîâàíèè ìíîæåñòâà àêòèâíûõ, ïàññèâ-
íûõ ýëåìåíòîâ è ìåæýëåìåíòíûõ ñîåäèíåíèé ÈÌ íàðÿäó ñ ïðîöåññàìè,
â êîòîðûõ îáðàáàòûâàåòñÿ âñÿ ïîâåðõíîñòü ïëàñòèí èëè ïîäëîæåê, â
áîëüøèíñòâå ïðîöåññîâ òåõíîëîãè÷åñêîìó âîçäåéñòâèþ ïîäâåðãàåòñÿ
íå âñÿ ïîâåðõíîñòü, à ëèøü åå îòäåëüíûå ëîêàëüíûå ó÷àñòêè. Ôîðìà,
ðàçìåðû è âçàèìíîå ðàñïîëîæåíèå ýòèõ ó÷àñòêîâ íà ïîâåðõíîñòè ïëàñ-
òèí (èëè ïîäëîæåê) ñîîòâåòñòâóåò òîïîëîãè÷åñêîìó ÷åðòåæó äëÿ äàí-
íîé îáðàáîòêè (äëÿ äàííîãî òîïîëîãè÷åñêîãî ñëîÿ).
Ïðàêòè÷åñêàÿ ðåàëèçàöèÿ ýòîãî ïðèíöèïà îñóùåñòâëÿåòñÿ ñ ïîìî-
ùüþ ýêðàíèðîâàíèÿ ó÷àñòêîâ, êîòîðûå íå ïîäëåæàò îáðàáîòêå, èëè ñ
ïîìîùüþ ëîêàëèçàöèè ñàìèõ ñðåäñòâ îáðàáîòêè (ðèñ. 3). Â ïåðâîì ñëó-
÷àå èìååì äåëî ñ ìàñî÷íîé òåõíîëîãèåé, âî âòîðîì ñ áåçìàñî÷íîé.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 9
- 10
- 11
- 12
- 13
- …
- следующая ›
- последняя »
