Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 10 стр.

UptoLike

Составители: 

10
2. ÏÐÈÍÖÈÏÛ ÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß
ÑÒÐÓÊÒÓÐ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ
Âçàèìîñâÿçü ïðîåêòèðîâàíèÿ êîíñòðóêöèè è òåõíîëîãèè. Â îò-
ëè÷èå îò òðàäèöèîííûõ ýëåêòðîííûõ ñõåì íà ýëåêòðîðàäèîýëåìåíòàõ,
ïðîåêòèðîâàíèå êîòîðûõ ïðàêòè÷åñêè ìàëî çàâèñèò îò äàëüíåéøåé òåõ-
íîëîãèè, äëÿ ìèêðîñõåì ïðîåêòèðîâàíèå òåñíåéøèì îáðàçîì ñâÿçàíî ñ
òåõíîëîãèåé èõ èçãîòîâëåíèÿ. Ýòî îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî ÈÌ ïðåäñòàâ-
ëÿþò ñîáîé åäèíîå êîíñòðóêòèâíîå öåëîå ñ âåñüìà áîëüøèì êîëè÷å-
ñòâîì ýëåìåíòîâ ìàëûõ ðàçìåðîâ. Ïàðàìåòðû êàæäîãî ýëåìåíòà è ðà-
áî÷èå õàðàêòåðèñòèêè ìèêðîñõåì â öåëîì îïðåäåëÿþòñÿ íå òîëüêî òî÷-
íîñòüþ òîïîëîãèè, íî è âûáîðîì îïòèìàëüíûõ ìàòåðèàëîâ è òåõíîëî-
ãèè. Ïðè ýòîì íåîáõîäèìî ó÷åñòü ôàêòîðû, âëèÿþùèå íà òî÷íîñòü ïðî-
öåññîâ ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè. Äàæå íåçíà÷èòåëüíûå îòêëîíåíèÿ îò
çàäàííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ðåæèìîâ ïðèâîäÿò ê îòêëîíåíèÿì îò íåîá-
õîäèìîé òîïîëîãèè. Êðîìå ýòîãî, ìåæäó ýëåìåíòàìè ìèêðîñõåì âñåãäà
ñóùåñòâóþò íåæåëàòåëüíûå âçàèìîäåéñòâèÿ è ïàðàçèòíûå ýôôåêòû,
êîòîðûå òàêæå íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü è ñâîäèòü ê ìèíèìóìó.
Áëàãîäàðÿ âçàèìîçàâèñèìîñòè êîíñòðóêöèè è òåõíîëîãèè ïðè ïðîåê-
òèðîâàíèè ÈÌ èñõîäíûìè äàííûìè, íàðÿäó ñ âíåøíèìè êîíñòðóêòèâ-
íûìè, ýëåêòðè÷åñêèìè è ýêñïëóàòàöèîííûìè, ÿâëÿþòñÿ äàííûå, îòðà-
æàþùèå âîçìîæíîñòè è îãðàíè÷åíèÿ òåõíîëîãèè. Èìåííî îíè îïðåäå-
ëÿþò îïòèìàëüíóþ êîíñòðóêöèþ ÈÌ.
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ ìèêðîñõåì ïîíÿòèÿ ïðîåêòèðîâàíèÿ êîíñòðóê-
öèè è òåõíîëîãèè òåñíî âçàèìîñâÿçàíû, ïðè ýòîì òåõíîëîãèè ïðèíàäëå-
æèò îïðåäåëÿþùàÿ ðîëü.
Îñíîâíûå ïðèíöèïû èíòåãðàëüíîé òåõíîëîãèè. Ïðè èçãîòîâëå-
íèè ñòðóêòóð ìèêðîñõåì ðóêîâîäñòâóþòñÿ îïðåäåëåííûìè ïðèíöèïàìè,
êîòîðûå îáóñëîâëåíû âçàèìîñâÿçüþ ïðîåêòèðîâàíèÿ êîíñòðóêöèè ÈÌ è
òåõíîëîãèè èõ èçãîòîâëåíèÿ è â ðàâíîé ñòåïåíè îòíîñÿòñÿ ê íèì îáîèì.
Ïðèíöèï ñîâìåñòèìîñòè ýëåìåíòîâ âûòåêàåò èç êîíñòðóêòèâíî-
ãî åäèíñòâà èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì. Êàæäûé ýëåìåíò ìèêðîñõåìû â
îòëè÷èå îò ýëåêòðîðàäèîýëåìåíòîâ òðàäèöèîííûõ ýëåêòðîííûõ ñõåì