Составители:
Рубрика:
8
àáðàçèâíîé îáðàáîòêè, ò. å. îáðàáîòêè áîëåå òâåðäûì, íî ìåíåå õðóï-
êèì, ÷åì îáðàáàòûâàåìàÿ ïîâåðõíîñòü, ìàòåðèàëîì.
Ó ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ñëèòêîâ äî íà÷àëà àáðàçèâíîé îáðàáîòêè
ïðîâåðÿþò êðèñòàëëîãðàôè÷åñêóþ îðèåíòàöèþ, òàê êàê îáîðóäîâàíèå
äëÿ âûðàùèâàíèÿ ñëèòêîâ íå îáåñïå÷èâàåò òî÷íîãî ñîâïàäåíèÿ ãåîìåò-
ðè÷åñêîé îñè ñëèòêà ñ çàäàííûì êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì íàïðàâëåíèåì.
Î÷èñòêà ïëàñòèí, ïîäëîæåê ïîñëå àáðàçèâíîé îáðàáîòêè îáÿçàòåëü-
íà, òàê êàê íà èõ ïîâåðõíîñòÿõ îñòàþòñÿ çàãðÿçíåíèÿ, êîòîðûå íåäîïóñ-
òèìû â äàëüíåéøåì òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå. Óäàëåíèå çàãðÿçíåíèé
äî òðåáóåìîãî óðîâíÿ ÷èñòîòû ïðåäñòàâëÿåò ñëîæíóþ çàäà÷ó, òàê êàê
èñòî÷íèêàìè çàãðÿçíåíèé ìîãóò áûòü ñàìè òåõíîëîãè÷åñêèå îáðàáîòêè
è îêðóæàþùàÿ ñðåäà. Èìåííî ïîýòîìó î÷èñòêó ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí è
ïîäëîæåê âûïîëíÿþò íåñêîëüêî ðàç, êàê â ïðîöåññå àáðàçèâíîé îáðà-
áîòêè ïðè èõ èçãîòîâëåíèè, òàê è ïîñëå, ò.å. íåïîñðåäñòâåííî ïåðåä îïå-
ðàöèÿìè èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð.
 ïðîöåññå ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè è ïåðåä èçãîòîâëåíèåì ñòðóê-
òóð î÷èñòêó ïëàñòèí è ïîäëîæåê â ïðîìûøëåííîì ïðîèçâîäñòâå, â íà-
ñòîÿùåå âðåìÿ, âûïîëíÿþò â ðàçëè÷íûõ æèäêèõ ñîñòàâàõ: îðãàíè÷åñ-
êèõ ðàñòâîðèòåëÿõ, âîäå, ñìåñÿõ íà îñíîâå êèñëîò, ùåëî÷åé, ñèëüíûõ
îêèñëèòåëåé. Ñóõàÿ î÷èñòêà ÿâëÿåòñÿ ôèíèøíîé è, êàê ïðàâèëî, ñîâìå-
ùåíà ñ ïîñëåäóþùèìè îïåðàöèÿìè èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð.
Ôîðìèðîâàíèå ñòðóêòóð ìèêðîñõåì
Ýòîò ýòàï ñîñòîèò â ôîðìèðîâàíèè ýëåìåíòîâ, ìåæýëåìåíòíûõ ñî-
åäèíåíèé è êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê â ñîîòâåòñòâèè ñ òîïîëîãè÷åñêèìè
÷åðòåæàìè è âåðòèêàëüíûìè ðàçðåçàìè ñòðóêòóð, ò.å. â ïîëó÷åíèè ýëå-
ìåíòîâ çàäàííîé êîíôèãóðàöèè, ðàçìåðîâ, âçàèìíîãî ðàñïîëîæåíèÿ â
ãîðèçîíòàëüíîé ïëîñêîñòè (ïîâåðõíîñòè) ïëàñòèí èëè ïîäëîæåê è çàäàí-
íûõ ðàçìåðîâ â âåðòèêàëüíîì íàïðàâëåíèè (òîëùèíû ïëåíîê, ãëóáèíû
ëåãèðîâàíèÿ). Â ñîîòâåòñòâèè ñ ýòèì âñå ìåòîäû èçãîòîâëåíèÿ ñòðóê-
òóð ìîæíî ðàçäåëèòü íà òðè ãðóïïû: ìåòîäû ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè,
ìåòîäû ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê, ìåòîäû ëåãèðîâàíèÿ ïëàñòèí è íàðàùèâàíèÿ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ. Ìåòîäû ïîñëåäíåé ãðóïïû îòíîñÿòñÿ òîëüêî
ê ïðîöåññàì ïîëó÷åíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð. Ñòðóêòóðû ìèê-
ðîñõåì èçãîòàâëèâàþò òîëüêî ãðóïïîâûì ìåòîäîì. Îäíîâðåìåííîé
îáðàáîòêå íà áîëüøèíñòâå îïåðàöèé ïîäâåðãàåòñÿ ïàðòèÿ ïëàñòèí èëè
ïîäëîæåê, è íà êàæäîé èç íèõ ôîðìèðóåòñÿ íå îäíà, à ìíîæåñòâî ñòðóê-
òóð.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 6
- 7
- 8
- 9
- 10
- …
- следующая ›
- последняя »
