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Ïðîöåññ èçãîòîâëåíèÿ ëþáîé ìèêðîñõåìû ñîïðîâîæäàåòñÿ êîíò-
ðîëüíûìè îïåðàöèÿìè è çàâåðøàåòñÿ èñïûòàíèÿìè. Ïîñëå èñïûòàíèé è
èçìåðåíèÿ ïàðàìåòðîâ óäîâëåòâîðÿþùèå òðåáîâàíèÿì ìèêðîñõåìû
ïðîõîäÿò çàêëþ÷èòåëüíûå îïåðàöèè (îêðàñêà, ëàêèðîâêà, ìàðêèðîâêà,
óïàêîâêà), ïîñòóïàþò íà ñêëàä ãîòîâîé ïðîäóêöèè äëÿ ïåðåäà÷è çàêàç-
÷èêó, èçãîòîâèòåëþ ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû.
Èçãîòîâëåíèå ïëàñòèí è ïîäëîæåê
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû è äèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæêè ÿâëÿþò-
ñÿ ãðóïïîâûìè çàãîòîâêàìè äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ìèêðîñõåì.
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû ïðèìåíÿþò òàêæå äëÿ èçãîòîâëåíèÿ íà-
âåñíûõ àêòèâíûõ êîìïîíåíòîâ è êðèñòàëëîâ äëÿ ãèáðèäíûõ ìèêðîñõåì.
Íà äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîäëîæêàõ èçãîòàâëèâàþò ïàññèâíóþ ÷àñòü
ñòðóêòóð ãèáðèäíûõ ìèêðîñõåì, à òàêæå ïëåíî÷íûå ìèêðîñõåìû. Â
íàñòîÿùåå âðåìÿ äëÿ ïðîìûøëåííîãî èçãîòîâëåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
ìèêðîñõåì ïðèìåíÿþò êðåìíèé (Si). Êðîìå êðåìíèÿ äëÿ ïîëóïðîâîäíè-
êîâûõ ìèêðîñõåì è íàâåñíûõ àêòèâíûõ êîìïîíåíòîâ è êðèñòàëëîâ äëÿ
ìèêðîñõåì ïðèìåíÿþò àðñåíèä ãàëëèÿ (GaAs) è äðóãèå ïîëóïðîâîäíè-
êîâûå ñîåäèíåíèÿ.
Ñòðóêòóðà è ñâîéñòâà ïîëóïðîâîäíèêîâ îïðåäåëÿþò ïàðàìåòðû è
õàðàêòåðèñòèêè ìèêðîñõåì. Â ñîîòâåòñòâèè ñ òðåáîâàíèÿìè ê ïàðàìåò-
ðàì ìèêðîñõåì âûáèðàþò ïîëóïðîâîäíèêîâûé ìàòåðèàë îïðåäåëåííîé
ìàðêè è îïðåäåëåííîé êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðèåíòàöèè.
Äëÿ ãèáðèäíûõ è ïëåíî÷íûõ ìèêðîñõåì ïðèìåíÿþò ïîäëîæêè èç ñòå-
êîë, ñèòàëëîâ, ôîòîñèòàëëîâ, êåðàìèê. Ñðàâíèòåëüíî íåäàâíî íà÷àëè ïðè-
ìåíÿòü ãèáêèå ïîëèìåðíûå ïîäëîæêè, â îñíîâíîì èç ïîëèèìèäà, à òàêæå
ìåòàëëè÷åñêèå ïîäëîæêè ñ äèýëåêòðè÷åñêèì ïîêðûòèåì (Al-Al
2
O
3
). Êðî-
ìå ýòîãî, ïðèìåíÿþò ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå äèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæêè
èç ñàïôèðà.
Èçãîòîâëåíèå ïëàñòèí è ïîäëîæåê âêëþ÷àåò: ìåõàíè÷åñêóþ îáðà-
áîòêó ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èëè äèýëåêòðè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ è î÷èñòêó
ïîâåðõíîñòè ïîëó÷åííûõ çàãîòîâîê.
Ìåõàíè÷åñêàÿ îáðàáîòêà ïîëóïðîâîäíèêîâ è äèýëåêòðèêîâ çàòðóä-
íåíà èõ âûñîêèìè òâåðäîñòüþ è õðóïêîñòüþ. Íå ðåêîìåíäóåòñÿ èñïîëü-
çîâàòü îáû÷íûå ìåòîäû ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè, ïðèìåíÿåìûå â ìå-
òàëëîîáðàáàòûâàþùåé ïðîìûøëåííîñòè, òàêèå, íàïðèìåð, êàê ïðîêàò-
êà, øòàìïîâêà, âûðóáêà. Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ïëàñòèí è ïîäëîæåê èç ìî-
íîêðèñòàëëè÷åñêèõ ñëèòêîâ è èç ëèñòîâûõ çàãîòîâîê ïðèìåíÿþò ìåòîä
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