Составители:
Рубрика:
13
Ðèñ. 4. Ôðàãìåíò ñå÷åíèÿ ñòðóêòóðû ÈÌ íà áèïîëÿðíûõ òðàíçèñòîðàõ:
1 ïåðâûé òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé ôîðìèðîâàíèå èçîëèðóþùèõ ïåðåõîäîâ;
2 âòîðîé òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé ôîðìèðîâàíèå ïåðåõîäîâ áàçà-êîëëåêòîð;
3 òðåòèé òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé ôîðìèðîâàíèå ïåðåõîäîâ ýìèòòåð-áàçà è
ïðèêîíòàêòíûõ n+ îáëàñòåé; 4 ÷åòâåðòûé òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé íàíåñå-
íèå ñëîÿ ìåòàëëèçàöèè; 5 ïÿòûé òåõíîëîãè÷åñêèé ñëîé ïîëó÷åíèå òîïîëî-
ãèè êîíòàêòîâ, ïðîâîäÿùèõ äîðîæåê, êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê
S i
p
nn
pp
n+ n+ n+
n+
ÝÁÊÝÊÁ
5
4
3
2
1
ðîìåòðà, ÷òî îáåñïå÷èâàåò ïî ñðàâíåíèþ ñî ñâîáîäíûìè ìàñêàìè áîëü-
øóþ òî÷íîñòü ïðè ìåíüøèõ ðàçìåðàõ òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà.
Êîíòàêòíûå ìàñêè ïîçâîëÿþò ôîðìèðîâàòü òîïîëîãèþ è ïðÿìóþ, è
îáðàòíóþ îòíîñèòåëüíî ðèñóíêà ìàñêè.  ïåðâîì ñëó÷àå ñíà÷àëà íàíî-
ñÿò ïëåíêó, â êîòîðîé íåîáõîäèìî ïîëó÷èòü ðèñóíîê, çàòåì ñâåðõó ôîð-
ìèðóþò ìàñêó è ÷åðåç îêíà â ìàñêå ëèøíèå ó÷àñòêè ïëåíêè óäàëÿþò
òðàâëåíèåì. Âî âòîðîì ñëó÷àå ñíà÷àëà ôîðìèðóþò ìàñêó, çàòåì ñâåðõó
íàíîñÿò ïëåíêó. Òîïîëîãèÿ â ïëåíêå ôîðìèðóåòñÿ â ïðîöåññå óäàëåíèÿ
êîíòàêòíîé ìàñêè.
Ëîêàëüíàÿ îáðàáîòêà áåç èñïîëüçîâàíèÿ ìàñîê ìîæåò âûïîëíÿòüñÿ
îñòðîñôîêóñèðîâàííûìè ýëåêòðîííûì, èîííûì èëè ëàçåðíûì ëó÷àìè,
âêëþ÷åíèåì, âûêëþ÷åíèåì è ïåðåìåùåíèåì êîòîðûõ ïî çàäàííîé ïðî-
ãðàììå óïðàâëÿþò ñ ïîìîùüþ ÝÂÌ.
Ïðèíöèï ïîñëîéíîãî ôîðìèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ ìèêðîñõåì (ïðèí-
öèï ïîñëîéíîñòè): ïðè èçãîòîâëåíèè ñòðóêòóð ìèêðîñõåì ëîêàëüíûå îá-
ðàáîòêè âûïîëíÿþò ìíîãîêðàòíî, ò. å. ýëåìåíòû ôîðìèðóþò ïîñòåïåí-
íî, êàê áû òåõíîëîãè÷åñêèìè ñëîÿìè. Íàïðèìåð, ïðè èçãîòîâëåíèè áè-
ïîëÿðíîé ÈÌ, ñåãìåíò ðàçðåçà êðèñòàëëà êîòîðîé ïîêàçàí íà ðèñ. 4, ëî-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 11
- 12
- 13
- 14
- 15
- …
- следующая ›
- последняя »
