Составители:
Рубрика:
20
Ìåõàíè÷åñêàÿ îáðàáîòêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ è äèýëåêòðè÷åñ-
êèõ ìàòåðèàëîâ. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ìàòåðèàëû è ìîíîêðèñòàëëè÷åñ-
êèé äèýëåêòðèê ñàïôèð ïîñòóïàþò íà ìåõàíè÷åñêèé ïðîèçâîäñòâåííûé
ó÷àñòîê â âèäå ñëèòêîâ; àìîðôíûå è äðóãèå äèýëåêòðè÷åñêèå ìàòåðèà-
ëû (ñòåêëî, ñèòàëë, ïîëèêîð, êåðàìèêà) â âèäå ëèñòîâûõ çàãîòîâîê. Êàê
óæå îòìå÷àëîñü, ìåõàíè÷åñêàÿ îáðàáîòêà ïðè èçãîòîâëåíèè ïëàñòèí è
ïîäëîæåê âûïîëíÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ àáðàçèâîâ. Òåðìèí àáðàçèâ îò ëà-
òèíñêîãî abrasio (ñîñêàáëèâàíèå) ïîÿâèëñÿ â 40-õ ãîäàõ íàøåãî ñòîëåòèÿ.
Ñèíòåòè÷åñêèå àáðàçèâíûå ìàòåðèàëû, èñïîëüçóåìûå â ïðîèçâîä-
ñòâå ìèêðîñõåì: àëìàçû, êàðáèä êðåìíèÿ, ýëåêòðîêîðóíä, îêèñëû êðåì-
íèÿ, õðîìà, öèðêîíèÿ, öåîëèòû.
Àëìàçû ñèíòåòè÷åñêèå ïî ìåõàíè÷åñêèì ñâîéñòâàì íå óñòóïàþò
ïðèðîäíûì. Àëìàç ñàìûé òâåðäûé èç âñåõ èçâåñòíûõ ìàòåðèàëîâ.
Òâåðäîñòü àëìàçà ïî øêàëå Ìîîñà ðàâíà 10. Ñðåäè àáðàçèâíûõ ìàòå-
ðèàëîâ àëìàç âûäåëÿþò â îñîáûé êëàññ.
Êàðáèä êðåìíèÿ (êàðáîðóíä SiC) â çàâèñèìîñòè îò êîëè÷åñòâà ïðè-
ìåñåé èìååò ðàçëè÷íûé öâåò îò ñâåòëî-çåëåíîãî äî ÷åðíîãî.  ïðîèç-
âîäñòâå íàèáîëåå ÷àñòî ïðèìåíÿåòñÿ êàðáèä êðåìíèÿ çåëåíûé. Òâåð-
äîñòü êàðáèäà êðåìíèÿ ïî øêàëå Ìîîñà ðàâíà 9,59,7.
Ýëåêòðîêîðóíä áåëûé êðèñòàëëè÷åñêèé îêñèä àëþìèíèÿ Al
2
O
3
ñ
ðàçëè÷íûìè ïðèìåñÿìè (0,51,5%). Ïî òâåðäîñòè ýëåêòðîêîðóíä óñòó-
ïàåò êàðáèäó êðåìíèÿ, íî ïðî÷íîñòü ýëåêòðîêîðóíäà âûøå. Òâåðäîñòü
ïî øêàëå Ìîîñà ðàâíà 99,2.
Àáðàçèâíûå ìàòåðèàëû èñïîëüçóþòñÿ â âèäå ïîðîøêîâ. Â çàâèñè-
ìîñòè îò ðàçìåðîâ çåðåí àáðàçèâíûå ïîðîøêè äåëÿòñÿ íà ÷åòûðå ãðóï-
ïû: øëèôçåðíî, øëèôïîðîøêè, ìèêðîïîðîøêè è òîíêèå ïîðîøêè. Â ïðî-
èçâîäñòâå ÈÌ ïðèìåíÿþòñÿ ïîðîøêè òðåõ ïîñëåäíèõ ãðóïï. Àëìàçíûå
ïîðîøêè ïî ðàçìåðó çåðåí äåëÿòñÿ íà øëèôçåðíî è ìèêðîïîðîøêè, â
ïðîèçâîäñòâå ÈÌ ïðèìåíÿþòñÿ ìèêðîïîðîøêè.
 îáîçíà÷åíèå àáðàçèâíîãî èëè àëìàçíîãî ïîðîøêà âõîäèò ìàðêà
ìàòåðèàëà è íîìåð çåðíèñòîñòè. Íàïðèìåð, ÝÁÌ14 ýëåêòðîêîðóíä áå-
ëûé, ìèêðîïîðîøîê ñ ðàçìåðîì çåðíà îñíîâíîé ôðàêöèè îò 14 äî 10
ìêì; ÀÑÌ10/7 àëìàç ñèíòåòè÷åñêèé, ìèêðîïîðîøîê ñ ðàçìåðîì çåð-
íà îñíîâíîé ôðàêöèè îò 10 äî 7 ìêì.
Ñóùíîñòü àáðàçèâíîé îáðàáîòêè çàêëþ÷àåòñÿ â ìåõàíè÷åñêîì âîç-
äåéñòâèè áîëåå òâåðäîãî è ìåíåå õðóïêîãî àáðàçèâà íà ìåíåå òâåðäûé
è áîëåå õðóïêèé ìàòåðèàë. Àáðàçèâíûå ïîðîøêè èñïîëüçóþòñÿ â ñâî-
áîäíîì è ñâÿçàííîì âèäå.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 18
- 19
- 20
- 21
- 22
- …
- следующая ›
- последняя »
