Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 22 стр.

UptoLike

Составители: 

22
ðàáîòêàõ, òàêæå ðàçëè÷íû òðåáîâàíèÿ ê ÷èñòîòå ïîâåðõíîñòè ïåðåä ïðî-
âåäåíèåì êàæäîé îïåðàöèè.
Íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí è ïîäëîæåê îäíîâðåìåííî ìîãóò ïðèñóò-
ñòâîâàòü ìíîãèå âèäû çàãðÿçíåíèé. Íàèáîëåå òðóäíîóäàëèìûìè ÿâëÿ-
þòñÿ îðãàíè÷åñêèå è íåêîòîðûå õèìè÷åñêè ñâÿçàííûå ñ ïîâåðõíîñòüþ
çàãðÿçíåíèÿ. Èç ôèçè÷åñêèõ çàãðÿçíåíèé íàèáîëåå òðóäíî óäàëÿþòñÿ
ìåëêèå çåðíà àáðàçèâà, âíåäðåííûå â ïîâåðõíîñòíûé ñëîé. Èç ðàñòâî-
ðèìûõ â âîäå ïîëÿðíûõ çàãðÿçíåíèé ñëîæíî óäàëÿþòñÿ ïîäâèæíûå èîíû
ìåòàëëîâ, èçìåíÿþùèå ýëåêòðîïðîâîäíîñòü ïîâåðõíîñòè, âûçûâàþùèå
äðåéô òîêà è ïîÿâëåíèå èíâåðñèîííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ è òåì
ñàìûì îêàçûâàþùèå âðåäíîå âëèÿíèå íà ñòàáèëüíîñòü ïàðàìåòðîâ ÈÌ.
 ñîîòâåòñòâèè ñ ïðèìåíÿåìûìè ñðåäñòâàìè î÷èñòêó äåëÿò íà æèä-
êîñòíóþ è ñóõóþ.
Æèäêîñòíàÿ î÷èñòêà âûïîëíÿåòñÿ îðãàíè÷åñêèìè ðàñòâîðèòåëÿ-
ìè; ðàçíîîáðàçíûìè ñîñòàâàìè, ñîäåðæàùèìè ùåëî÷è, êèñëîòû, ïåðîê-
ñèä, è äðóãèå ðåàêòèâû, à òàêæå âîäîé. Ïîäîáðàòü æèäêîå ñðåäñòâî,
îäíîâðåìåííî óäàëÿþùåå âñå âîçìîæíûå ïîâåðõíîñòíûå çàãðÿçíåíèÿ,
âåñüìà ñëîæíî, ïîýòîìó æèäêîñòíàÿ î÷èñòêà âêëþ÷àåò ðÿä ïîñëåäîâà-
òåëüíûõ îïåðàöèé. Íåðàñòâîðèìûå â âîäå îðãàíè÷åñêèå æèðîâûå çàã-
ðÿçíåíèÿ äåëàþò ïîâåðõíîñòü ãèäðîôîáíîé, ò. å. ïëîõî ñìà÷èâàåìîé
âîäîé è áîëüøèíñòâîì ðàñòâîðîâ. Äëÿ ðàâíîìåðíîé î÷èñòêè ïîâåðõ-
íîñòü ïîäëîæåê (ïëàñòèí) íåîáõîäèìî ïåðåâåñòè â ãèäðîôèëüíîå, ò. å.
õîðîøî ñìà÷èâàåìîå âîäîé, ñîñòîÿíèå. Îïåðàöèÿ óäàëåíèÿ æèðîâûõ
çàãðÿçíåíèé, ñîïðîâîæäàåìàÿ ïåðåâîäîì ïîâåðõíîñòè èç ãèäðîôîáíîãî
ñîñòîÿíèÿ â ãèäðîôèëüíîå, íàçûâàåòñÿ îáåçæèðèâàíèåì.
Îáåçæèðèâàíèå ïåðâàÿ îïåðàöèÿ ïðè æèäêîñòíîé î÷èñòêå.
Ñóõàÿ î÷èñòêà ïðèìåíÿåòñÿ íà ýòàïå ôîðìèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ è
ìåæýëåìåíòíûõ ñîåäèíåíèé ìèêðîñõåì è, êàê ïðàâèëî, âûïîëíÿåòñÿ
íåïîñðåäñòâåííî ïåðåä ïðîâåäåíèåì îòâåòñòâåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
ïðîöåññîâ (íàïûëåíèå ïëåíîê, ëèòîãðàôèÿ) èëè ñîâìåùåíà, ò. å. ïðîâî-
äèòñÿ â îäíîì îáîðóäîâàíèè, ñ ïîñëåäóþùåé îáðàáîòêîé (íàïðèìåð, ñ
ïîëó÷åíèåì òåðìè÷åñêîãî îêñèäà, ñ ýïèòàêñèàëüíûì íàðàùèâàíèåì
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ).
Ìåòîäû ñóõîé î÷èñòêè èñêëþ÷àþò íåîáõîäèìîñòü ïðèìåíåíèÿ äî-
ðîãîñòîÿùèõ è îïàñíûõ â ðàáîòå æèäêèõ ðåàêòèâîâ, à òàêæå ïðîáëåìû
ìåæîïåðàöèîííîãî õðàíåíèÿ ïëàñòèí è ïîäëîæåê è î÷èñòêè ñòî÷íûõ âîä,
êîòîðûå ÿâëÿþòñÿ íåìàëîâàæíûìè ïðè èñïîëüçîâàíèè æèäêèõ ñðåäñòâ